恒运昌：公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源
公司产品与技术突破 - 公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换 [2] - 公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品 [2] 行业地位与市场进展 - 公司在关键半导体设备零部件领域实现国产替代，产品成功进入国内头部晶圆厂供应链 [2]
公司产品与技术突破 - 公司已向国内头部晶圆厂交付Bestda等离子体射频电源，实现了国内首颗刻蚀设备用射频电源的原位替换 [2] - 公司Aspen系列等离子体射频电源和Basalt系列匹配器已在国内头部晶圆厂产线上替代了CVD工艺设备中的海外等离子体射频电源及匹配器产品 [2] 行业地位与市场进展 - 公司在关键半导体设备零部件领域实现国产替代，产品成功进入国内头部晶圆厂供应链 [2]