昊华科技:公司电子特气产品包括电子级三氟化氮等
公司产品与技术 - 公司电子特气产品线丰富,具体包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等[2] - 公司电子特气产品主要应用于集成电路制造的多个核心制程工艺,包括清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等[2] - 公司拥有电解制氟核心技术,并计划利用该技术延伸开发高纯氟气混配气体产品,相关产品目前处于研发阶段[2] 行业应用 - 公司的产品直接服务于集成电路(芯片)制造行业,是半导体产业链上游的关键材料[2]