昊华科技:公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业

公司业务与技术 - 公司所属昊华气体是国内特种气体行业领先企业 [2] - 公司自主研发的三氟化氮、六氟化钨等核心特气产品实现国产化替代 [2] - 公司研发的电子混配气主要应用于离子注入、光刻等环节 [2] 行业地位与国产化 - 公司是国内特种气体行业领先企业 [2] - 公司核心特气产品实现国产化替代 [2]

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