市场表现与资金流向 - 截至2026年2月10日上午，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.27%，成分股中华峰测控上涨8.05%，艾森股份上涨7.48%，兴福电子上涨4.32%，华兴源创上涨2.38%，芯源微上涨1.75% [1] - 同期，中证半导体材料设备主题指数下跌0.10%，成分股中华峰测控领涨8.76%，艾森股份上涨7.03%，南大光电上涨2.44%；矽电股份领跌3.97%，康强电子下跌3.11%，神工股份下跌2.76% [1] - 科创半导体ETF(588170)上涨0.28%至1.78元，盘中换手率3.4%，成交额2.74亿元；半导体设备ETF华夏(562590)下跌0.16%至1.92元，盘中换手率1.65%，成交额4547.37万元 [1] - 科创半导体ETF近3个月规模增长42.96亿元，新增规模领先同类；半导体设备ETF华夏最新规模达27.59亿元 [1] - 科创半导体ETF最新单日资金净流出6371.43万元，但近10个交易日内合计资金净流入1.82亿元 [2] - 半导体设备ETF华夏最新单日资金净流入382.94万元，近21个交易日内有15日资金净流入，合计净流入12.69亿元，日均净流入达6042.88万元 [2] 行业动态与公司事件 - 中科曙光公告拟向不特定对象发行可转债，募集资金总额不超过80亿元，资金将用于面向人工智能的先进算力集群系统、下一代高性能AI训推一体机和国产化先进存储系统项目 [2] - 财通证券观点认为，国产AI模型快速迭代正抢占用户交互入口，推理侧算力需求有望加速提升，2026年是推理侧国产超节点上量元年 [2] - 多家国产厂商已发布新一代超节点方案，包括华为Atlas 950/960（搭载8192/15488张算力卡）、曙光scale x 640、沐曦、昆仑芯、阿里磐久等，产业链即将迎来放量时点 [2] 相关ETF产品信息 - 科创半导体ETF及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，该指数囊括科创板中半导体设备（占比60%）和半导体材料（占比25%）细分领域的硬科技公司 [3] - 半导体设备ETF华夏及其联接基金跟踪的指数中，半导体设备占比63%，半导体材料占比24%，充分聚焦半导体上游 [3] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高的属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮及光刻机技术进展 [3]