公司技术突破 - 海目星激光的参股子公司海目芯微成功研制出直径12英寸的碳化硅单晶晶锭 [1][9] - 该进展标志着公司在6英寸、8英寸、12英寸全尺寸碳化硅长晶技术链上实现了全面自主可控 [1][9] - 公司通过提升热场寿命、降低功耗,使8英寸长晶成本大幅降低 [3][11] - 公司通过对热场设计、分压、温度控制及生长工艺等关键环节的技术迭代,成功突破12英寸的生长技术瓶颈 [3][11] - 12英寸晶体生长面临更复杂的热梯度、径向温度场和更大的内应力,公司依托自主研发的电阻式长晶设备与持续迭代的工艺技术,通过创新性温场设计与晶体完整性控制,保障了大尺寸晶体的稳定生长 [5][13] - 本次制备的12英寸晶锭结晶质量优异、结构完整,展现了公司在核心技术与工艺上的双重突破 [5][13] 公司业务与战略 - 海目芯微成立于2021年3月,是海目星激光(科创板:688559)的参股子公司 [8][16] - 公司已形成“一总部两基地”布局:深圳总部统筹研发与运营,成都、江西基地依托14000平米厂房保障设备高效量产 [8][16] - 公司业务涵盖四大核心领域:显示面板超快激光装备系列、微米级光刻机装备系列、第三代半导体(SiC)装备系列及其它类激光装备系列 [8][16] - 公司已通过ISO国际质量管理体系认证,并荣获国家高新技术企业、“专精特新”中小企业等多项资质认证 [8][16] - 公司以持续技术创新构建核心竞争力,将针对长晶、衬底加工等核心痛点,突破技术壁垒,推动企业持续发展 [7][15] - 公司使命是“持续为泛半导体行业设计和制造最先进的装备,帮助客户获得竞争优势和维持技术领先” [8][16] 行业背景与意义 - 碳化硅产业正处于高速发展背景下 [1][9] - 衬底尺寸的提升是推动碳化硅产业规模化与成本控制的关键环节 [3][11]
技术新突破 | 海目芯微成功研制12英寸碳化硅单晶晶锭