公司股价与交易表现 - 2月13日，芯源微股价上涨5.02%，报收218.00元/股，成交额2.69亿元，换手率0.63%，总市值达439.55亿元 [1] 公司基本信息与业务构成 - 公司全称为沈阳芯源微电子设备股份有限公司，成立于2002年12月17日，于2019年12月16日上市 [1] - 公司主营业务为半导体专用设备的研发、生产和销售 [1] - 主营业务收入构成为：光刻工序涂胶显影设备占59.86%，单片式湿法设备占36.76%，其他(补充)占2.51%，其它设备占0.86% [1] 主要流通股东动态 - 嘉实上证科创板芯片ETF（588200）为芯源微十大流通股东之一 [2] - 该基金在2023年第三季度减持芯源微16.3万股，截至当时持有365.39万股，占流通股比例为1.81% [2] - 基于2月13日股价上涨测算，该基金当日浮盈约3807.36万元 [2] 相关基金产品表现 - 嘉实上证科创板芯片ETF（588200）成立于2022年9月30日，最新规模为396.58亿元 [2] - 该基金今年以来收益率为14.52%，同类排名433/5569；近一年收益率为71.78%，同类排名204/4295；成立以来收益率为168.77% [2] - 该基金经理为田光远，累计任职时间4年343天，现任基金资产总规模791.33亿元，任职期间最佳基金回报为163.5% [3]