公司2025年财务业绩 - 2025年营收约为123.85亿元，同比增长36.62% [1] - 归属于母公司所有者的净利润约为21.11亿元，同比增长30.69% [1] - 扣除非经常性损益的净利润约为15.50亿元，同比增长11.64% [1] 分产品线销售表现 - 刻蚀设备销售收入约为98.32亿元，同比增长35.12%，是公司最主要的收入来源 [1] - LPCVD和ALD设备销售收入约为5.06亿元，同比大幅增长224.23% [1] 研发投入与资产状况 - 2025年研发投入约为37.44亿元，同比增长52.65% [1] - 期末总资产约为297.72亿元，较期初增长13.56% [1] - 期末所有者权益约为226.95亿元，较期初增长14.99% [1] 数据说明 - 公告中数据未经审计，最终以公司年度报告披露为准 [1]