基金表现与资金流向 - 半导体设备ETF广发（560780 SH）在2026年2月27日收盘下跌2 14% [1] - 当日主力资金（单笔成交额100万元以上）净流入3874 78万元，在可比基金中排名第一 [1] - 近3个交易日主力资金呈现加速流入态势，合计净流入9239 48万元，在可比基金中排名前2 [1] 市场交易活跃度 - 该基金最新成交量为1 10亿份 [1] - 最新成交额达到2 29亿元，处于股票型ETF基金的第一梯队 [1] 产品基本信息 - 该ETF的场外联接基金包括A类（代码020639）和C类（代码020640） [1]