昊华科技:公司电子特气产品包括电子级三氟化氮、四氟化碳等

公司业务与产品 - 公司电子特气产品线丰富,具体包括电子级三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、六氟化钨、硒化氢、硫化氢、溴化氢、三氟化硼等 [2] 产品应用领域 - 公司电子特气产品主要应用于集成电路制造的关键工艺环节,包括清洗、刻蚀、离子注入、化学气相沉积等制程工艺 [2]