恒运昌:公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统

公司产品与技术发展 - 历经十年 公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列等离子体射频电源系统 [1] - 公司的等离子体射频电源系统成功打破了美系两大巨头在国内长达数十年的垄断格局 填补国内空白 [1] - 公司目前启动了包括质量流量计在内的其他半导体设备核心零部件国产化研发工作 [1] 供应链与上游元器件国产化进程 - 公司持续加强供应链的国产化 [1] - 自2021年开始 公司先后在上游采购中实现了真空电容、陶瓷电容、MCU以及SiCMOS、LDMOS、部分ADC和FPGA等元器件的国产化应用 [1] - 公司目前已确定上游元器件的全国产化方案 将持续推进元器件的全面国产化验证工作 [1]