报告公司投资评级 - 中微公司维持"买入-A"评级 [1] 报告的核心观点 长存加速转向国产设备，刻蚀设备龙头显著受益 - 长江存储加速转向国产设备取代美系设备，中微公司等国产半导体设备厂商有望受益 [1] - 中微公司是国产刻蚀设备龙头，同时积极布局薄膜设备、检测设备，平台化建设稳步推进 [1] - 24H1刻蚀设备收入为26.98亿元，同比增长56.68%，营收占比提升至78.26%；新增订单39.4亿元，同比增长约50.7% [1] - 公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，CCP和ICP刻蚀设备的销售增长和在国内主要客户芯片生产线上市占率均大幅提升 [1] 刻蚀设备技术持续精进 - 公司积极布局超低温刻蚀技术，在超低温静电吸盘和新型刻蚀气体研究上投入大量资源，积极储备更高深宽比结构(≥90:1)刻蚀的前卫技术 [1] - Primo UD-RIE已在生产线验证出具有刻蚀≥60:1深宽比结构的量产能力 [1] - 多款ICP设备在先进逻辑芯片、先进DRAM和3D NAND产线验证推进顺利并陆续取得客户批量订单 [1] 薄膜设备和检测设备布局 - 公司钨系列薄膜沉积产品可覆盖存储器件所有钨应用，并已完成多家逻辑和存储客户对CVD/HAR/ALD W钨设备的验证，取得了客户订单 [2] - EPI设备研发团队已形成自主知识产权及创新的预处理和外延反应腔的设计方案，目前EPI设备已顺利进入客户验证阶段 [2] - 公司投资上海睿励布局检测设备，三大产品线持续注入强劲增长动力 [1] 财务数据与估值 - 预计2024年至2026年，公司营收分别为83.68/111.63/145.92亿元，增速分别为33.6%/33.4%/30.7% [2] - 预计2024年至2026年，归母净利润分别为18.10/23.96/32.35亿元，增速分别为1.4%/32.4%/35.0% [2] - 预计2024年至2026年，PE分别为41.4/31.2/23.1 [2]