报告公司投资评级 - 维持“买入”评级 [1][7] 报告的核心观点 - 中微公司2025年一季度营收和扣非归母净利润稳健增长 毛利率环比改善 研发投入持续提升 存货和合同负债同比高增 在手订单充足 刻蚀和镀膜产品发展良好 维持2025 - 2027年盈利预测和“买入”评级 [7] 根据相关目录分别进行总结 财务数据 - 2025 - 2027年预计营业总收入分别为114.72亿元、141.79亿元、175.40亿元 同比分别增长26.55%、23.60%、23.70% [1] - 2025 - 2027年预计归母净利润分别为24.32亿元、34.02亿元、44.54亿元 同比分别增长50.53%、39.89%、30.92% [1] - 2025年一季度营收21.7亿元 同比增长35.4% 归母净利润3.1亿元 同比增长25.7% 扣非净利润3.0亿元 同比增长13.4% [7] - 2025年一季度毛利率41.5% 环比增加2.2pct 销售净利率14.2% 同环比分别减少1.3pct、5.5pct 扣非净利率13.7% 同比减少2.7pct 期间费用率28.8% 同比增加4.5pct [7] - 截至2025Q1末 合同负债30.7亿元 同比增长162.4% 存货74.5亿元 同比增长33.4% 2025Q1经营性现金流3.8亿元 [7] 产品情况 - CCP设备在逻辑和存储领域覆盖度高 已交付大量反应台 并积极布局新技术 [7] - ICP设备安装腔体数量增长快 覆盖多类客户 TSV刻蚀设备用于先进封装 正在研发用于5 - 3nm逻辑芯片的ICP刻蚀机 [7] - MOCVD设备在第三代半导体设备市场领先 在Micro - LED领域进展良好 外延设备已付运样机验证 [7] - 薄膜沉积设备中 CVD钨设备获重复订单 ALD和EPI设备完成客户验证并获认可 [7] - 量检测设备成立子公司引入人才 规划覆盖多种设备 [7]