报告公司投资评级 - 投资评级为买入（维持） [1] 报告的核心观点 - 2025年一季度公司实现营业收入82亿元，同比增加38%，环比减少13%；归母净利润16亿元，同比增加39%，环比增加36%；扣非净利16亿元，同比增加46%，环比增加20% [4] - 2024年公司实现营业收入298亿元，同比增加35%；归母净利润56亿元，同比增加44%；扣非净利56亿元，同比增加56% [4] - 预计2025 - 2027年公司归母净利润分别为77.12、94.16、117.32亿元，对应的EPS分别为14.44、17.63、21.96元，对应最新收盘价PE分别为30x、24x、19x，维持“买入”评级 [7] 根据相关目录分别进行总结 薄膜沉积收入高增，设备领域多点开花 - 2024年公司电子工艺装备收入277亿元，同比增长41% [5] - 刻蚀设备收入超80亿元，同比增长约33%；薄膜沉积设备收入超100亿元，同比增长约67%；热处理设备收入超20亿元；湿法设备收入超10亿元 [5] - 刻蚀设备领域完成全系列产品布局；薄膜沉积领域形成全系列工艺与设备阵容；热处理板块覆盖全系列产品；湿法领域构建全面解决方案 [5] 进军离子注入，多领域协同厚积薄发 - 2025年3月公司正式进军离子注入设备市场，并发布首款离子注入机Sirius MC 313 [6] - 离子注入设备主要用于12寸逻辑、存储芯片的B、P、As等元素注入，浸没式机型主打高剂量、低能量离子注入，面向存储和逻辑领域的CMOS、加氢钝化、SOI等工艺 [6] - 公司形成半导体制造装备四大核心环节闭环覆盖，将提升在国内外晶圆制造市场的竞争力，为持续技术创新与国产化替代奠定基础 [6] 财务指标 |主要财务指标|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |营业收入（百万元）|29838|39707|49175|60987| |收入同比（%）|35.1%|33.1%|23.8%|24.0%| |归属母公司净利润（百万元）|5621|7712|9416|11732| |净利润同比（%）|44.2%|37.2%|22.1%|24.6%| |毛利率（%）|42.9%|42.2%|41.9%|41.8%| |ROE（%）|18.1%|19.9%|19.6%|19.6%| |每股收益（元）|10.57|14.44|17.63|21.96| |P/E|36.98|29.57|24.22|19.44| |P/B|6.71|5.89|4.74|3.81| |EV/EBITDA|26.46|21.40|17.06|13.70| [8][11] 财务报表与盈利预测 资产负债表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |流动资产|46211|61233|75916|94906| |现金|12347|17093|21228|27230| |应收账款|6045|6618|8196|10164| |其他应收款|113|110|137|169| |预付账款|889|1836|2285|2840| |存货|23479|31824|39566|49133| |其他流动资产|3338|3752|4505|5369| |非流动资产|19498|21435|24230|26739| |长期投资|66|66|66|66| |固定资产|6205|7431|8946|9805| |无形资产|4703|5503|6603|8103| |其他非流动资产|8524|8435|8615|8765| |资产总计|65709|82668|100146|121645| |流动负债|23482|31731|38677|47305| |短期借款|3|3|3|3| |应付账款|10165|11475|14280|17753| |其他流动负债|13314|20253|24395|29550| |非流动负债|10002|10981|12001|13021| |长期借款|3946|4946|5946|6946| |其他非流动负债|6055|6035|6055|6075| |负债合计|33484|42712|50678|60326| |少数股东权益|1144|1222|1317|1435| |股本|534|534|534|534| |资本公积|16427|16364|16364|16364| |留存收益|14121|21837|31253|42986| |归属母公司股东权益|31082|38735|48151|59884| |负债和股东权益|65709|82668|100146|121645| [12] 利润表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |营业收入|29838|39707|49175|60987| |营业成本|17051|22949|28559|35505| |营业税金及附加|178|238|246|305| |销售费用|1085|1390|1721|2135| |管理费用|2111|2779|3442|4269| |财务费用|60|-101|-165|-216| |资产减值损失|-75|-50|-50|-80| |公允价值变动收益|6|0|0|0| |投资净收益|3|0|0|0| |营业利润|6527|8753|10809|13316| |营业外收入|18|0|0|0| |营业外支出|34|0|0|0| |利润总额|6511|8753|10809|13316| |所得税|817|963|1297|1465| |净利润|5694|7790|9511|11851| |少数股东损益|72|78|95|119| |归属母公司净利润|5621|7712|9416|11732| |EBITDA|7653|10195|12609|15331| |EPS（元）|10.57|14.44|17.63|21.96| [12] 现金流量表（单位：百万元） |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |经营活动现金流|1573|7516|8052|9930| |净利润|5694|7790|9511|11851| |折旧摊销|1071|1543|1965|2231| |财务费用|168|146|177|208| |投资损失|-3|0|0|0| |营运资金变动|-5311|-2023|-3651|-4441| |其他经营现金流|10961|9873|13212|16372| |投资活动现金流|-2212|-3481|-4760|-4740| |资本支出|-2039|-4110|-4710|-4710| |长期投资|-173|0|0|0| |其他投资现金流|1|629|-50|-30| |筹资活动现金流|740|711|843|812| |短期借款|-20|0|0|0| |长期借款|-1889|1000|1000|1000| |普通股增加|3|1|0|0| |资本公积增加|1456|-63|0|0| |其他筹资现金流|1190|-227|-157|-188| |现金净增加额|107|4745|4135|6002| [12] 主要财务比率 |会计年度|2024A|2025E|2026E|2027E| |----|----|----|----|----| |成长能力| | | | | |营业收入|35.1%|33.1%|23.8%|24.0%| |营业利润|46.7%|34.1%|23.5%|23.2%| |归属于母公司净利润|44.2%|37.2%|22.1%|24.6%| |获利能力| | | | | |毛利率（%）|42.9%|42.2%|41.9%|41.8%| |净利率（%）|18.8%|19.4%|19.1%|19.2%| |ROE（%）|18.1%|19.9%|19.6%|19.6%| |ROIC（%）|15.0%|16.3%|16.2%|16.5%| |偿债能力| | | | | |资产负债率（%）|51.0%|51.7%|50.6%|49.6%| |净负债比率（%）|103.9%|106.9%|102.4%|98.4%| |流动比率|1.97|1.93|1.96|2.01| |速动比率|0.84|0.80|0.81|0.84| |营运能力| | | | | |总资产周转率|0.50|0.54|0.54|0.55| |应收账款周转率|6.08|6.27|6.64|6.64| |应付账款周转率|2.09|2.12|2.22|2.22| |每股指标（元）| | | | | |每股收益|10.57|14.44|17.63|21.96| |每股经营现金流（摊薄）|2.95|14.07|15.07|18.59| |每股净资产|58.25|72.51|90.14|112.10| |估值比率| | | | | |P/E|36.98|29.57|24.22|19.44| |P/B|6.71|5.89|4.74|3.81| |EV/EBITDA|26.46|21.40|17.06|13.70| [12]