报告行业投资评级 - 电子行业投资评级为领先大市 - A（维持）[1] 报告的核心观点 - 光刻是芯片制造关键工艺，光刻机是核心设备，全球市场规模超 300 亿美金且 ASML 一家独大 [3][4] - 国内晶圆制造产业扩张与 AI 发展使光刻机需求攀升，美国出口管制下国产化迫在眉睫 [5][42] - 光刻机由照明、投影物镜、晶圆模组构成 [5] - 建议关注茂莱光学、福光股份等国产光刻机产业链受益标的 [5] 根据相关目录分别进行总结 光刻机：工业皇冠上的明珠 - 光刻是芯片制造最复杂关键步骤，原理是将光罩电路图形成像在晶圆上，可细分涂胶、曝光、显影 [13] - 光刻技术分掩膜光刻和直写光刻，前者用于芯片生产，后者用于制造掩膜版，投影式光刻渐替代接触/接近式 [15][19] - 提升光刻机分辨率路径为更短波长和增大数值孔径，更短波长光源推动分辨率提升，浸没式系统突破数值孔径极限 [4][22] - 2024 全球光刻机市场规模约 315 亿美元，出货以中低端为主，市场呈寡头垄断，ASML 一家独大且靠技术创新领先 [33][38] 美对华加大半导体技术封锁，光刻机自主可控迫在眉睫 - 国内晶圆制造产业加速扩张，预计 2026 年底 12 英寸晶圆厂总月产能超 414 万片，AI 发展提升先进制程产能需求，带动光刻机需求攀升 [42][47] - 美国持续加大对华半导体设备出口管制，我国光刻机依赖进口面临“卡脖子”困境，国产化迫在眉睫 [56][57] 光刻机主要由照明光学模组、投影物镜模组、晶圆平台模组构成 - 照明光学模组分光源和照明模组，DUV 光刻机光源主要用准分子激光器，照明模组为投影物镜成像提供特定照明光场 [62][66] - 投影物镜模组功能是将掩模版图样传递到晶圆上，可划分为光学、机械和控制三个分系统 [72] - 晶圆模组分传送和平台模组，运动速度和定位精度影响光刻机效率和精度，晶圆平台由多部分组成 [77] 投资建议与重点公司介绍 - 建议关注国产光刻机产业链，受益标的有茂莱光学、福光股份等 [83] - 茂莱光学是精密光学综合解决方案提供商，国产替代推动半导体业务加速成长 [84][85] - 福光股份是光学系统解决方案提供商，布局光刻机超精密光学业务 [87][89] - 汇成真空是真空镀膜设备提供商，产品应用多领域 [91] - 英诺激光是激光器生产商，积极布局光刻机光源相关激光技术 [96][97] - 苏大维格是微纳结构产品制造和技术服务商，建立微纳光学研发与生产基础技术平台 [101] - 芯碁微装是直写光刻设备供应商，产品功能涵盖多领域光刻环节 [105] - 中旗新材控制权拟变更，星空科技成控股股东，其是半导体设备厂商，产品适用于多领域曝光 [108][113]