投资评级 - 维持"买入"评级 公司是国内半导体刻蚀设备的领军企业 将持续受益于国产化带来的业绩增量 [3] 核心财务表现 - 2025年上半年营业收入约49.61亿元 同比增长43.88% [1] - 2025年上半年归母净利润6.8-7.3亿元 同比增长31.61%-41.28% [1] - 研发投入14.92亿元 同比增长53.70% 占营业收入比例30.07% [2] - 研发费用11.16亿元 同比增长96.65% [2] - 下调2025年归母净利润预测至21.07亿元（下调22%） 2026年预测31.98亿元（下调8%） 新增2027年预测41.93亿元 [3] 业务发展亮点 - 刻蚀设备收入37.81亿元 同比增长40.12% [1] - LPCVD薄膜设备收入1.99亿元 同比增长608.19% [1][2] - LPCVD薄膜设备累计出货量突破150个反应台 [2] - 在研项目涵盖六类设备 超二十款新设备开发 新产品开发周期从3-5年缩短至2年以内 [1] - EPI设备进入客户端量产验证阶段 Micro-LED和高端显示领域MOCVD设备取得良好进展 [2] 市场与产品进展 - 先进逻辑和先进存储产线刻蚀设备出货量快速增长 [1] - 高端刻蚀产品新增付运量显著提升 在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [1] - 正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备 [2] 估值指标 - 当前股价202.41元 总市值1267.39亿元 [5] - 对应2025-2027年PE估值分别为60x、40x和30x [3] - PB估值从2023年7.0倍下降至2027年预计4.4倍 [4][12] - 近一年绝对收益率42.67% 相对收益率13.57% [8]