投资评级 - 买入(维持) [5] 核心观点 - 公司发行11.7亿元可转债用于扩张半导体薄膜设备产能和研发能力提升 其中6.4亿元投向半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设 2.3亿元用于研发实验室扩建 3亿元补充流动资金 [1][8] - 半导体设备业务快速增长 2024年末在手订单15亿元 同比增长66% 预计未来三年半导体营收占比将快速提升 [3] - 光伏设备业务面临短期压力 2024年末在手订单52亿元 但受行业扩产下滑影响 预计今年新签订单较少 未来三年光伏营收占比持续下降 [4] - 公司盈利增长预期强劲 预计2025-2027年归母净利润分别为3.4亿元、4.6亿元、5.6亿元 同比增长51%、34%、21% [9][11] 业务分析 半导体设备业务 - ALD设备技术领先 覆盖45nm以下节点及3D结构等先进半导体薄膜沉积环节 开发了国内首台应用于集成电路制造前道生产线的量产型High-k ALD设备 [2] - ALD技术覆盖面持续拓展 已开发HKMG技术、柱状电容器、金属化薄膜沉积技术及高深宽比3D NAND、3D DRAM、TSV技术等工艺解决方案 [2] - CVD设备布局完善 PECVD设备从高温硬掩模切入 已通过多家客户性能测试 LPCVD设备覆盖SiGe、poly-Si、doped a-Si工艺并实现产业化验证 [3] 光伏设备业务 - ALD设备龙头地位稳固 连续多年在营收规模、订单总量和市场占有率方面位居国内同类企业第一 [4] - 持续优化XBC、钙钛矿、钙钛矿叠层电池等新一代高效电池技术 与国内头部光伏厂商形成长期合作伙伴关系 [4] 财务预测 - 预计2025-2027年营业收入分别为27亿元、31亿元、34亿元 同比增长2%、13%、11% [9][11] - 预计毛利率保持在37%-40%区间 净利率从12.48%提升至16.25% [11][12] - 每股收益预计为0.74元、1.00元、1.21元 对应PE倍数53倍、40倍、33倍 [9][11] - ROE从11.56%提升至14.00% ROIC从6.50%提升至8.93% [12] 产能扩张计划 - 半导体薄膜沉积设备智能化工厂建设周期3年 达产后预计新增产能50台/套 年销售收入15.65亿元 [8] - 研发实验室扩建将提升公司研发能力及科技成果转化能力 [8]