投资评级 - 推荐 (维持) [1] 核心观点 - 公司2025上半年实现收入19.50亿元，同比增长30.28%，归母净利润5.05亿元，同比增长16.82% [5] - CMP设备作为集成电路前道制造关键工艺设备，市场占有率不断提高，同时耗材与维保服务业务放量，晶圆再生及湿法设备收入增加 [9] - 全新抛光系统架构CMP机台Universal-H300获批量重复订单并规模化出货，先进制程订单占比提升 [9] - 减薄设备订单量大幅增长，减薄贴膜一体机Versatile-GM300实现批量发货 [9] - 划切装备正进行客户验证及优化，离子注入机实现先进制程全覆盖并布局多系列装备 [9] - AI趋势拉动3D IC发展，公司CMP、减薄、划切等设备作为先进封装与芯片堆叠关键技术装备，需求有望持续旺盛 [10] - 预计2025-2027年归母净利润分别为13.58亿元、17.44亿元、22.17亿元，对应PE为33.8X、26.3X、20.7X [10] 财务数据 - 2025E营业收入45.54亿元（同比增长33.7%），2026E 59.23亿元（同比增长30.1%），2027E 75.46亿元（同比增长27.4%） [8] - 2025E归母净利润13.58亿元（同比增长32.7%），2026E 17.44亿元（同比增长28.5%），2027E 22.17亿元（同比增长27.1%） [8] - 毛利率2025E 44.9%，2026E 44.3%，2027E 43.9% [8] - ROE 2025E 17.7%，2026E 18.9%，2027E 19.9% [8] - 每股收益2025E 3.84元，2026E 4.94元，2027E 6.27元 [8] - 总资产2025E 143.64亿元，2026E 175.38亿元，2027E 214.66亿元 [11] - 现金及等价物2025E 32.77亿元，2026E 46.40亿元，2027E 63.81亿元 [11] 业务进展 - CMP设备：先进制程订单占比提升，在国内头部客户完成全部工艺验证 [9] - 减薄设备：12英寸超精密减薄机Versatile-GP300订单大幅增长，减薄贴膜一体机Versatile-GM300批量发货 [9] - 划切装备：多家客户验证中，推进硬件、软件及工艺优化 [9] - 离子注入设备：首台12英寸低温离子注入机发往逻辑芯片制造龙头企业，实现大束流机型全覆盖 [9] 行业趋势 - AI技术推动算法架构和算力密度突破，带动先进封装与芯片堆叠技术发展 [10] - 公司设备产品包括CMP、减薄、划切等，是3D IC高密度集成和高可靠性运行的核心装备 [10]