投资评级 - 维持"买入"评级 [1] 核心财务表现 - 2025H1营收49.6亿元，同比+43.9%，其中刻蚀设备收入37.8亿元（+40.1%），LPCVD&ALD设备营收2.0亿元（+608.2%）[7] - 2025H1归母净利润7.1亿元，同比+36.6%，扣非净利润5.4亿元（+11.5%）[7] - Q2单季营收27.9亿元，同环比+51.3%/+28.3%，归母净利润3.9亿元（+46.8%/+25.5%）[7] - 2025-2027年盈利预测：归母净利润24.3/34.0/44.5亿元，对应动态PE 58/42/32倍 [1][7] 盈利能力与费用结构 - 2025H1毛利率39.9%（同比-1.5pct），销售净利率13.8%（-1.1pct）[7] - 期间费用率29.7%（+3.3pct），其中研发费用率22.5%（+6.0pct）[7] - 2025H1研发投入14.9亿元，同比+53.7% [7] 营运与订单情况 - 合同负债31.7亿元（同比+24.8%），存货80.8亿元（+19.2%），其中发出商品40.3亿元 [7] - 经营性现金流2亿元，Q2单季为-1.7亿元 [7] 产品技术进展 - CCP设备：累计交付4500个反应台，逻辑领域覆盖28nm及以上大部分应用，进入国际5nm及以下产线 [7] - ICP设备：累计安装超1200个反应台，近四年腔体数量CAGR超100%，覆盖50+客户 [7] - 薄膜沉积设备：CVD钨设备获重复量产订单，ALD氮化钛/钛铝/氮化钽完成多客户验证 [7] - MOCVD设备：第三代半导体设备领先，SiC外延设备进入客户验证 [7] - 量检测设备：成立子公司布局电子束检测设备 [7] 财务预测数据 - 2025E营收114.72亿元（+26.55%），2026E 141.79亿元（+23.60%）[1][8] - 预测毛利率从2025E的42.50%提升至2027E的44.25% [8] - 归母净利率从2025E的21.20%升至2027E的25.39% [8]