投资评级 - 维持"推荐"评级 [1][10] 核心观点 - 公司作为国内半导体设备平台企业持续受益于IC国产化进程 [9][10] - 2025年上半年营收161.42亿元(同比增长29.51%) 净利润32.08亿元(同比增长14.97%) [4][9] - 通过收购芯源微完善半导体装备产品线布局 特别是在光刻工序配套装备方面形成强大协同效应 [9] - 预计2025-2027年归母净利润分别为74.11亿元/95.88亿元/122.79亿元 对应PE分别为36倍/28倍/22倍 [7][10] 财务表现 - 2025年上半年整体毛利率42.17%(同比下降3.33个百分点) 净利率19.83%(同比下降2.71个百分点) [9] - 费用控制良好：销售费用率2.88%(同比下降1.56个百分点) 管理费用率6.55%(同比下降0.22个百分点) 财务费用率0.51%(同比上升0.4个百分点) [9] - 研发投入29.15亿元(同比增长30.01%) 累计申请专利9900余件 授权专利5700余件 [9] - 预计2025-2027年营业收入分别为396.85亿元/515.90亿元/670.67亿元 年增长率保持在30%-33% [7] 业务进展 - 刻蚀设备收入超50亿元人民币 已形成ICP/CCP/干法去胶设备等全系列产品布局 [9][10] - 薄膜沉积设备收入超65亿元人民币 涵盖物理气相沉积/化学气相沉积/外延/原子层沉积等全系列布局 [10] - 热处理设备收入超10亿元人民币 包括立式炉和快速热处理设备(RTP)的全系列布局 [10] - 立式炉/物理气相沉积(PVD)/刻蚀设备三种主力装备产品累计出货量均突破1000台 [9] - 新发布离子注入设备/电镀设备/先进低压化学气相硅沉积立式炉/金属有机物化学气相沉积设备等产品 [9] 行业地位 - 总市值2688亿元 总股本722百万股 每股净资产46.83元 [1] - 资产负债率52.5% 流动比率1.8-1.7 速动比率0.7-0.6 [1][12] - ROE预计从2025年20.9%提升至2027年25.3% ROIC从25.1%提升至30.2% [7][12]