投资评级 - 维持"买入"评级 [1][7] 核心观点 - 2025年上半年营业收入32.65亿元 同比增长35.83% 主要受益于中国大陆市场需求强劲及公司技术差异化优势 [4] - 2025年上半年归属于上市公司股东的净利润同比增长56.99% 主要因主营业务收入增长及股份支付费用减少 [4] - 公司以清洗设备为基础向平台型半导体设备公司发展 产品线覆盖前道/后道工艺设备及硅材料衬底制造设备 [5] 财务表现与预测 - 预计2025-2027年营业收入分别为67.29亿/82.58亿/92.06亿元 同比增长19.8%/22.7%/11.5% [7][9] - 预计2025-2027年归母净利润分别为14.96亿/17.62亿/19.34亿元 同比增长29.7%/17.7%/9.8% [7][9] - 预计2025-2027年每股EPS为3.39元/3.99元/4.38元 对应PE分别为49/41/38倍 [7][9] - 2025年上半年毛利率保持46.9%水平 ROE预计达16.0% [9] 市场地位与技术突破 - 清洗设备全球市场占有率8.0% 位居全球第四 中国市场占有率超30% 位列第二 [6] - 电镀设备全球市场占有率8.2% 位列全球第三 实现电镀技术全领域覆盖 [6] - 2025年3月自主研发单晶圆高温SPM设备通过关键客户验证 面板级水平电镀设备获国际奖项 [6] 产品与业务发展 - 产品平台化持续推进 技术水平和性能持续提升 产品系列日趋完善 [4] - 核心产品线包括清洗设备、电镀设备、立式炉管、涂胶显影Track、PECVD、无应力抛光等设备 [5] - ECP设备第1500电镀腔完成交付 覆盖前道铜互连/后道晶圆级封装/3D堆叠/化合物半导体领域 [6]