投资评级 - 对中微公司的投资评级为“增持”，且为维持该评级 [1][7] 核心观点 - 中微公司25Q3业绩表现强劲，收入同比高增长，利润同比稳健增长，研发进度显著加快 [1][7] - 公司核心产品取得重要进展，下一代90:1超高深宽比CCP刻蚀设备即将进入市场，薄膜沉积设备快速放量 [1][7] - 基于对公司未来收入的乐观预测，预计归母净利润将持续增长，对应市盈率逐步下降 [7] 财务业绩表现 - 25Q3单季业绩：收入31亿元，同比增长50.6%，环比增长11.3%；归母净利润5.05亿元，同比增长27.5%，环比增长28.6% [1][7] - 2025前三季度累计业绩：收入80.63亿元，同比增长46.4%；归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [7] - 盈利能力指标：25Q3单季毛利率为37.9%，同比下降5.8个百分点，环比下降0.6个百分点；扣非净利率为11.2%，同比下降4.8个百分点，环比上升2.6个百分点 [7] 业务运营与产品进展 - 刻蚀设备业务：2025前三季度刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26% [7] - 薄膜设备业务：2025前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69%，进入快速放量阶段 [7] - 技术研发与产品突破：先进逻辑和存储产线用高端刻蚀设备付运量显著提升，超高深宽比刻蚀工艺实现大规模量产；ICP刻蚀设备、化学气相刻蚀设备开发取得良好进展；硅和锗硅外延EPI设备已进入客户端量产验证 [7] 研发投入 - 研发支出：2025前三季度研发支出25.23亿元，同比大幅增长63.44% [7] - 研发投入强度：研发支出占收入比例达到31.29% [7] 财务预测与估值 - 收入预测：预计2025/2026/2027年营业收入分别为119.29亿元、151.21亿元、185.00亿元，同比增长率分别为32%、27%、22% [2][7] - 利润预测：预计2025/2026/2027年归母净利润分别为20.54亿元、29.49亿元、38.87亿元，同比增长率分别为27%、44%、32% [2][7] - 估值指标：对应2025/2026/2027年市盈率分别为90.5倍、63.0倍、47.8倍 [2][7]