投资评级与核心观点 - 投资评级为买入（维持）[4] - 报告核心观点为：公司订单需求旺盛，业绩向上趋势显著，维持买入评级[12] - 基于2025年三季报表现，调整2025-2027年归母净利润预测至21/30/43亿元（原2025-2027年预测为21/30/40亿元）[12] 公司基本状况与财务表现 - 2025年前三季度营收80.6亿元，同比增长46.4%；归母净利润12.1亿元，同比增长32.7%；毛利率39.1%，同比下降3.1个百分点[6] - 2025年第三季度营收31亿元，同比增长50.6%，环比增长11.3%；归母净利润5.05亿元，同比增长27.5%，环比增长28.6%；毛利率37.9%，同比下降5.8个百分点，环比下降0.6个百分点[6] - 归母净利润增速低于营收增速，主要因研发费用率提升至22.25%（同比+5.65个百分点）以及非经常性股权投资收益增加3.29亿元[6] - 第三季度归母净利率环比提升2.2个百分点至16.3%，主要因期间费用率控制得当，研发费用率从第二季度的23.4%降至第三季度的21.9%[7] 运营与订单情况 - 截至2025年第三季度末，合同负债（预收款）达43.89亿元，较2024年末的25.86亿元增长70%，显示在手订单增长态势良好[8] - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44%，研发支出占营业收入比例约为31.29%[8] - 公司新产品开发速度显著加快，从过去三到五年缩短至两年或更短时间，在研项目涵盖六大类超过二十款新设备[8] 业务分项进展 - 刻蚀设备：2025年前三季度收入61.01亿元，同比增长约38.26%；CCP刻蚀设备高速增长，60:1超高深宽比刻蚀设备成为国内标配，下一代90:1设备即将进入市场；ICP刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度达单原子水平[10] - 薄膜沉积设备：2025年前三季度LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69%；多款薄膜设备性能达国际领先水平，硅和锗硅外延EPI设备获客户高度认可[10] - 泛半导体设备：更多化合物半导体外延设备正开发中，并已陆续付运至客户端验证[10] 盈利预测与估值 - 预测2025-2027年营业收入分别为126.90亿元、163.71亿元、198.27亿元，增长率分别为40%、29%、21%[4] - 预测2025-2027年归母净利润分别为21.02亿元、30.39亿元、43.20亿元，增长率分别为30%、45%、42%[4] - 预测2025-2027年每股收益分别为3.36元、4.85元、6.90元，对应市盈率分别为88.4倍、61.1倍、43.0倍[4] - 预测2025-2027年净资产收益率分别为10%、12%、15%[4]