投资评级与目标价 - 报告对中微公司的投资评级为“强推”，并维持该评级 [1] - 报告给出的目标价为373.3元，当前股价为300.04元 [2] 核心财务表现 - 2025年前三季度公司实现营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [6] - 2025年前三季度归母净利润为12.11亿元，同比增长32.66% [6] - 2025年第三季度单季营业收入31.02亿元，创历年同期新高，同比增长50.62%，环比增长11.29% [6] - 2025年第三季度单季归母净利润5.05亿元，创历年同期新高，同比增长27.50%，环比增长28.62% [6] - 2025年前三季度毛利率为39.10%，同比下降3.12个百分点 [6] 分业务收入表现 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26%，延续放量趋势 [6] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长约1332.69%，实现高速上量 [6] 研发投入与技术进展 - 2025年前三季度研发投入25.23亿元，同比增长63.44%，研发支出占收入比重达31.29% [6] - 刻蚀设备方面，CCP系列中60比1超高深宽比介质刻蚀设备已成为国内标配，下一代90比1产品即将进入市场；ICP系列设备开发进展顺利 [6] - 薄膜设备方面，多款LPCVD、ALD产品已顺利进入市场，性能对标国际先进水平 [6] - 外延设备方面，硅与锗硅EPI设备已完成量产验证，化合物半导体外延设备已付运至客户端验证 [6] 盈利预测与估值 - 预测公司2025-2027年归母净利润分别为19.41亿元、29.23亿元、39.58亿元 [6] - 预测公司2025-2027年每股收益（EPS）分别为3.10元、4.67元、6.32元 [7] - 基于2026年15倍市销率（PS）给予目标价 [6]