投资评级 - 投资评级为“买入”，并予以维持 [8] 核心观点 - 报告认为中微公司业绩保持快速增长，薄膜沉积设备获得突破，平台化战略持续推进，未来业绩有保障 [1][5][12] 财务业绩表现 - 2025年前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40%，归母净利润12.11亿元，同比增长32.66% [2][5] - 2025年第三季度单季营收31.02亿元，同比增长50.62%，环比增长11.29%，归母净利润5.05亿元，同比增长27.50%，环比增长28.62% [2][5] - 公司前三季度经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元，同比增长385.23% [12] - 预计2025-2026年公司有望实现营收119亿元、157亿元，实现归母净利润24.0亿元、33.6亿元 [12] 业务分项进展 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长约38.26% [12] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比增长约1332.69% [12] - 针对先进逻辑和存储器件制造的关键刻蚀工艺高端产品新增付运量显著提升，多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [12] 研发与技术创新 - 2025年前三季度研发支出25.23亿元，同比增长约63.44%，研发支出占营业收入比例约为31.29% [12] - CCP刻蚀设备中，60:1超高深宽比介质刻蚀设备成为国内标配，下一代90:1设备即将进入市场 [12] - ICP刻蚀设备和化学气相刻蚀设备开发取得良好进展，加工精度和重复性已达单原子水平 [12] - 为先进存储和逻辑器件开发的LPCVD、ALD等多款薄膜设备已顺利进入市场，性能达国际领先水平 [12] - 硅和锗硅外延EPI设备已运付客户端进行量产验证并获得认可，更多化合物半导体外延设备正在开发中 [12] 产能扩张与未来规划 - 位于南昌的约14万平方米和上海临港的约18万平方米生产研发基地已投入使用，产能大幅提升 [12] - 上海临港滴水湖畔约10万平方米的总部大楼暨研发中心在顺利建设中 [12] - 公司规划在广州增城区及成都高新区建造新的生产和研发基地，以保障未来十年产能需求 [12] 运营指标与订单情况 - 公司存货和合同负债同环比提升，印证公司订单继续增长 [12]