投资评级 - 投资评级为“增持”，且为维持 [2] - 基于2026年03月31日收盘价306.38元计算 [2] 核心观点与业绩表现 - 2025年业绩：公司全年实现营收123.85亿元，同比增长36.62%；实现归母净利润21.11亿元，同比增长30.69% [8] - 核心业务增长：2025年，刻蚀设备实现销售额约98.32亿元，同比增长35.12%；LPCVD设备实现销售额约5.06亿元，同比增长224.23% [8] - 先进工艺应用：公司在先进逻辑与存储器件制造所需的关键刻蚀工艺中，高端设备付运量显著增加，相关工艺已在多种关键环节实现大规模量产 [8] - 高研发投入：2025年研发支出约37.44亿元，同比增加12.91亿元，增长52.65%，研发投入占营业收入比重达30.23% [8] - 产品验证进展：面向先进存储器件的超高深宽比刻蚀工艺已实现量产，EPI设备也已顺利进入客户端量产验证阶段 [8] - 战略收购：公司拟通过收购杭州众硅电子科技有限公司控股权，从单一干法工艺向“干法+湿法”整体解决方案延伸，填补湿法设备空白，增强为先进制程提供系统级解决方案的能力 [8] 财务预测与估值 - 营收预测：预计2026至2028年营业收入分别为163.57亿元、216.97亿元、261.37亿元，对应增长率分别为32.1%、32.6%、20.5% [7][8] - 净利润预测：预计2026至2028年归母净利润分别为32.56亿元、44.04亿元、55.51亿元，对应增长率分别为54.2%、35.3%、26.0% [7][8] - 每股收益（EPS）预测：预计2026至2028年EPS分别为5.20元、7.03元、8.86元 [7] - 市盈率（PE）预测：预计2026至2028年PE分别为58.9倍、43.6倍、34.6倍（基于2026年03月31日收盘价） [7][8] - 净资产收益率（ROE）预测：预计2026至2028年ROE分别为12.7%、14.9%、16.1% [7] - 毛利率与利润率预测：预计2026至2028年毛利率稳定在43%以上，净利润率从19.9%提升至21.2% [9] 公司财务数据摘要 - 2025年资产负债表：资产总额298.46亿元，股东权益227.29亿元，货币资金109.24亿元 [9] - 运营效率：预计2026年总资产周转天数713天，投资资本周转天数549天，运营效率持续改善 [9] - 费用控制：预计销售、管理、财务三项费用占营业收入比例稳定在7.2%-7.5%之间 [9] - 偿债能力：公司无短期债务，资产负债率预计在26.7%-28.6%之间，流动比率与速动比率健康 [9]