报告投资评级 - 推荐 (维持) [1] 核心观点 - 报告认为公司业绩稳定，新品逐步起量，刻蚀类产品线不断丰富，薄膜沉积产品进展顺利，作为半导体设备平台型企业，维持“推荐”评级 [5][6][10] 公司业绩与财务表现 - 2025年公司实现营收123.85亿元，同比增长36.62% [5][6] - 2025年归属上市公司股东净利润21.11亿元，同比增长30.69% [5][6] - 2025年扣非后归母净利润为15.50亿元，同比增长11.64% [6] - 2025年整体毛利率为39.17%，同比下降1.89个百分点 [6] - 2025年净利率为16.67%，同比下降1.14个百分点 [6] - 2025年公司以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资产生公允价值变动收益和投资收益合计约6.61亿元，较2024年的1.98亿元增加约4.64亿元 [6] - 2025年销售费用率、管理费用率和财务费用率分别为4.03%、5.31%和-0.38%，费用率稳定 [6] - 2025年研发投入约37.44亿元，同比增长52.65%，占营业收入比例约为30.23% [6] - 公司拟向全体股东每10股派发现金红利3.50元（含税），以资本公积金向全体股东每10股转增4.9股 [5] - 报告预测2026-2028年公司归母净利润分别为30.90亿元、41.72亿元、55.20亿元，对应市盈率分别为60倍、44倍、33倍 [10] - 报告预测2026-2028年公司营业收入分别为167.19亿元、225.71亿元、293.42亿元，同比增长率分别为35.0%、35.0%、30.0% [8] - 报告预测2026-2028年公司毛利率将回升至43.0%并保持稳定 [8][12] 产品线与业务进展 - 2025年刻蚀设备销售约98.32亿元，同比增长约35.12% [6] - 2025年LPCVD设备销售约5.06亿元，同比增长约224.23% [6] - 公司CCP刻蚀设备2025年单年付运超过1000个反应台，累计装机量超过5000反应台 [10] - 公司ICP刻蚀设备2025年在客户端的累计安装数达到1800个反应台 [10] - 公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [6] - 公司ICP刻蚀设备NanovaLUX-Cryo在客户端认证通过并取得重复订单，在客户的下一代产品的产线上实现量产 [10] - 下一代ICP刻蚀设备的Alpha机在实验室开展多个客户的工艺验证，Beta机器计划2026年初去客户端认证 [10] - 公司开发的钨系列薄膜沉积设备（CVD钨、HAR钨和ALD钨）均已通过关键存储客户端现场验证，并获得客户重复量产订单 [10] - 公司开发的用于先进逻辑器件的金属栅系列产品（ALD氮化钛、ALD钛铝、ALD氮化钽）已完成多个先进逻辑客户设备验证，并已付运到多个客户端进行验证 [10] 产能与产业布局 - 公司正在上海临港新片区建设中微临港产业化基地及中微临港总部和研发中心 [6] - 公司正在南昌高新区建设中微南昌产业化基地 [6] - 公司正在广州建设华南总部研发及生产基地 [6] - 公司正在成都建设成都研发及生产基地暨西南总部项目 [6]