投资评级 - 维持“买入”评级 [2][4] 核心观点 - 公司26Q1业绩超预期，营收与利润实现高速增长，归母净利润同比增长197.20%至9.30亿元，扣非归母净利润同比增长60.09%至4.78亿元 [1] - 公司作为国内半导体刻蚀设备龙头，正加速设备平台化布局，研究成果高效转化有望进一步支撑未来营收业绩增长 [2] - 公司产品矩阵逐步完备，高端设备布局持续演进，累计已有超过8300个反应台在180余条客户产线量产，并推进六大类超20款新设备研发 [1] 财务表现与预测 - 26Q1业绩：实现营收29.15亿元，同比增长34.13%；毛利率为39.89%，同比下降1.65个百分点；扣非销售净利润率为16.38%，同比提升2.65个百分点 [1] - 利润高增原因：1）营收增长带动毛利较上年增长约2.60亿元；2）研发支出同比增长32.15%至约9.08亿元（占营收31.14%）；3）出售部分拓荆科技股票产生税后净收益约3.97亿元 [1] - 盈利预测：预计2026-2028年营收分别为169亿元、224亿元、291亿元；归母净利润分别为33亿元、42亿元、55亿元 [2] - 历史及预测财务数据：2025年营收为123.85亿元，归母净利润为21.11亿元；预计2026年营收同比增长36.2%，归母净利润同比增长55.5% [8] - 估值指标：基于2026年4月27日352.01元收盘价，对应2026-2028年预测市盈率（P/E）分别为67.2倍、52.7倍、40.3倍；预测市净率（P/B）分别为8.6倍、7.5倍、6.4倍 [8][9] 业务进展与产品布局 - 刻蚀设备： - 高端产品新增付运量显著提升，完全自主开发的超高深宽比刻蚀机已有300多台反应器实现大规模量产 [7] - 下一代90:1超高深宽比低温CCP刻蚀设备已运付客户端验证 [7] - 第二代ICP刻蚀设备Primo Angnova TM在3D DRAM应用中取得140:1的高深宽比刻蚀结果，并付运至国内领先存储客户端认证 [7] - 全新化学气相刻蚀设备Primo Domingo TM实现大于700:1的业界领先SiGe/Si高选择比，在GAA和3D DRAM关键工艺实验室验证中表现优异 [7] - 薄膜设备： - 已成功开发出LPCVD、ALD、EPI、PVDCuBS和PECVD等十多种薄膜设备，在先进存储和逻辑市场新增付运量保持快速增长 [7] - 为金属栅应用开发的ALD系列产品性能达到国际领先水平，且生产效率更优 [7] - 减压EPI设备已在成熟制程客户端验证成功，并付运先进制程客户端，部分先进工艺进入量产验证阶段；常压外延设备已完成开发并进入晶圆验证阶段 [7] - MOCVD设备： - 持续保持国际氮化镓基MOCVD设备市场领先地位 [7] - 积极布局用于SiC和GaN基功率器件的市场，并在Micro-LED等显示领域专用设备开发上取得良好进展 [7] - 四款MOCVD新产品（用于SiC/GaN功率器件、Micro-LED的GaN MOCVD、用于红黄光LED的GaAs MOCVD）已进入客户端验证阶段，并获部分批量订货 [7] 市场与股价信息 - 公司总市值为2206.81亿元，总股本为6.27亿股，自由流通股比例为100% [4] - 截至2026年4月27日，公司股价为352.01元 [4]