报告投资评级 - 投资评级：增持 [1][6][7] 核心观点 - 公司2026年第一季度业绩延续快速增长，营收同比增长34.13%至29.15亿元，归母净利润同比大增197.20%至9.30亿元，超出市场预期 [3][4] - 业绩高增长主要得益于刻蚀设备与薄膜设备两大核心业务的持续放量，其中薄膜设备成为重要的新增长引擎 [3] - 公司平台化成长逻辑不断兑现，在刻蚀、薄膜沉积及MOCVD等多个关键半导体设备领域的技术和产品验证进展顺利，为未来持续增长奠定基础 [5] - 分析师维持对公司2026-2028年的盈利预测，预计营收和净利润将保持快速增长，并维持“增持”评级 [6][7] 2026年第一季度业绩表现 - 营收与增长：2026Q1实现营收29.15亿元，同比增长34.13% [3] - 盈利能力： - 归母净利润为9.30亿元，同比增长197.20%；扣非归母净利润为4.78亿元，同比增长60.09% [4] - 净利率为31.51%，同比提升17.32个百分点；扣非净利率为16.38%，同比提升2.66个百分点 [4] - 毛利率与费用： - 整体毛利率为39.89%，同比下降1.64个百分点，推测与新品导入验证有关 [4] - 期间费用率为26.32%，同比下降2.51个百分点，其中研发费用率同比下降3.37个百分点，规模效应显现 [4] - 研发支出为9.08亿元，同比增长32.15% [4] - 非经常性损益：非经损益为4.53亿元，同比增加4.38亿元，主要因出售部分持有的拓荆科技股票产生处置损益4.67亿元 [4] 核心业务进展 - 刻蚀设备： - 推测仍为公司主要收入构成，针对先进逻辑和存储器件制造的高端产品新增付运量显著提升 [3] - 设备可覆盖65nm到3nm及更先进工艺，满足95%以上刻蚀需求 [5] - CCP刻蚀设备：下一代90:1超高深宽比低温刻蚀设备正在验证，全面覆盖存储刻蚀需求 [5] - ICP刻蚀设备：取得140:1的高深宽刻蚀结果，已付运至国内领先存储客户端认证 [5] - 薄膜设备： - 收入快速放量，成为业绩增长重要新引擎 [3] - 为先进存储/逻辑开发的LPCVD、ALD等多款设备顺利进入市场，覆盖率不断增加，新增付运量快速增长 [3] - ALD设备性能达到国际领先水平，多款核心介质沉积设备客户验证进展良好 [5] - 减压EPI设备在成熟制程验证成功，部分先进工艺进入量产验证；常压外延设备进入晶圆验证阶段 [5] - MOCVD设备：四款用于SiC/GaN功率器件、Micro LED及红黄光LED的新设备已进入客户端验证阶段，并获部分批量订货 [5] 财务预测与估值 - 营收预测：预计2026-2028年营收分别为159.14亿元、211.50亿元、273.08亿元，同比增长28.5%、32.9%、29.1% [6][9] - 净利润预测：预计2026-2028年归母净利润分别为29.42亿元、43.77亿元、56.83亿元，同比增长39.3%、48.7%、29.8% [6][9] - 每股收益（EPS）：预计2026-2028年EPS分别为4.69元、6.98元、9.07元 [6][9] - 估值水平：以2026年4月27日收盘价352.01元计算，对应2026-2028年市盈率（PE）分别为75.01倍、50.42倍、38.83倍 [6][9]