报告投资评级 - 维持“买入”评级 [1][7] - 目标价为538.20元人民币 [5][7] 核心观点 - 报告看好公司薄膜沉积和混合键合等新品加速放量，盈利向好，未来新签订单及营收有望延续高增势头，利润逐步释放 [1] - 公司2025年业绩高增，2026年第一季度利润大幅增长，在手订单充足，为后续持续增长奠定基础 [1][2] - 基于公司新品进展顺利、在手订单保障以及行业估值抬升，报告上调了目标价 [5] 财务表现与预测 - 2025年业绩：实现营收65.19亿元，同比增长58.87%；归母净利润9.27亿元，同比增长34.67% [1][2] - 2026年第一季度业绩：实现营收11.12亿元，同比增长56.97%，环比下降51.61%；归母净利润5.71亿元，同比增长488.29%，环比增长54.13%；单季度毛利率提升至41.69%，同比提升21.80个百分点，环比提升3.67个百分点 [1][2] - 盈利预测：维持2026-2027年营业收入预测为84.5亿元和110.0亿元；上修2026-2027年归母净利润预测至16.9亿元和21.6亿元，上调幅度分别为4.78%和0.29% [5] - 在手订单：截至2025年末，公司在手订单金额约为110亿元 [1][5] 业务分项进展 - PECVD设备：2025年收入51.42亿元，同比增长75.27%，占总收入78.88%，主要因先进逻辑、存储产品批量进入规模化量产 [2] - ALD设备：2025年收入3.01亿元，同比增长191.82%，占总收入4.62%，PE-ALD多款设备量产规模提升，Thermal-ALD开始获得订单 [2][3] - 混合键合设备：2025年收入1.36亿元，同比增长41.92%，占总收入2.09% [2] 技术与产品发展 - 薄膜沉积设备：公司已实现全系列PECVD介质薄膜材料覆盖，可支撑逻辑、存储芯片100多种工艺，客户端累计流片量突破4.57亿片，2025年单年突破2.1亿片 [1][3] - ALD设备：截至2025年末累计出货超过140个反应腔，PE-ALD多款工艺设备客户端放量，Thermal-ALD首台TiN设备通过客户验证 [3] - 键合及配套设备： - WtoW混合键合设备已获复购订单并实现量产应用，新一代产品已发货验证 [4] - 首台WtoW熔融键合产品已完成先进逻辑客户验证 [4] - DtoW键合前表面预处理产品Propus已实现产业化并获重复订单 [4] - DtoW混合键合产品正在客户端验证 [4] - 键合套准精度量测及强度检测产品已通过验证并实现产业化应用 [4] - 已完成永久键合后晶圆激光剥离产品研制 [4] 行业与估值 - 行业景气度：下游晶圆厂扩产需求旺盛，半导体设备行业维持高景气 [5] - 估值方法：报告基于18倍2026年市销率（PS）给予目标价，参考2026年行业平均PS为12.0倍 [5][12] - 可比公司：报告列出了北方华创、中微公司等可比半导体设备公司的估值数据作为参考 [12]