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台积电2nm工艺良率公布!

国芯网[原:中国半导体论坛] 振兴国产半导体产业! 不拘中国、 放眼世界 ! 关注 世界半导体论坛 ↓ ↓ ↓ 4月28日消息,在近期举行的北美技术论坛上,台积电首次对外披露了其N2(2nm制程)工艺的缺陷率(D0)相关信息。与此前的7nm、5nm以及3nm等 制程相比,N2工艺在缺陷率控制方面表现更为优异。 虽然台积电并未公开具体的缺陷率数据,但展示了不同制程工艺随时间变化的缺陷率趋势。N2是台积电首次引入GAAFET全环绕晶体管技术的工艺,距 离大规模量产还有两个季度,预计将在年底实现。 从试产情况来看,N2工艺在过去近两个月的表现中,其缺陷率与同期的N5/N4工艺相当,甚至略低,并且显著优于N7/N6和N3/N3P工艺。从试产到量产的 半年周期内,N7/N6工艺的综合缺陷率相对较高,而N3/N3P工艺自量产起便保持较低水平。N5/N4工艺的表现更加出色,从试产阶段开始,其缺陷率就明 显更低。 如果N2能够延续N5/N4的改善趋势,其未来发展将十分值得期待。此外,台积电还强调,一种工艺的缺陷率能否快速下降,不仅取决于其设计和技术本 身,还与制造芯片的数量和产能规模密切相关。制造数量越多、产能规模越大,越容 ...