行业地位与市场格局 - 芯源微是国内唯一可提供量产型中高端涂胶显影设备的企业，填补了国产设备在该领域的空白 [1][2] - 光刻工序占芯片产线50%的时间和30%的成本，但前道光刻机国产替代率不足3%，前道涂胶显影设备国产替代率不足10%，长期被日本企业垄断 [2] - 涂胶显影机与光刻机、光刻胶并称光刻工序三大要素，技术门槛极高 [2] 技术突破与产品布局 - 公司前道设备覆盖28纳米以上所有工艺节点，满足国内90%以上成熟工艺需求 [4] - 前道物理清洗设备达国际先进水平，国内市占率第一；化学清洗设备突破高温硫酸工艺验证并获重复订单 [4] - 后道先进封装领域市占率超50%，并布局2.5D/3D封装等新兴增长点 [4] 研发投入与国产化进程 - 研发费用连续多年占营收10%以上，2024年研发投入达2.97亿元，同比增长近50% [4] - 涂胶显影机需与光刻机联机作业，技术要求极高（如每小时上万次机电动作，涂胶精度需控制在一根头发丝以内） [5] - 日系设备垄断率超90%，公司通过持续迭代推进国产替代 [5] 发展历程与区域优势 - 公司从2002年起步时无市场、无供应链，逐步突破4寸至12寸晶圆工艺，从LED延伸至前道制造领域 [2] - 2019年成为辽宁省首家科创板上市企业，依托沈阳装备制造业基础及人才优势发展壮大 [2][4]