EUV光刻技术现状与竞争格局 - ASML是全球唯一的EUV光刻机供应商，主导7纳米以上晶体管量产技术 [1] - 美国通过Cymer公司（被ASML收购）掌握EUV光源关键技术，Intel等企业加大EUV研发投入 [2] 美国EUV加速器项目 - 纽约州联合IBM、美光等企业投资100亿美元建立High NA EUV研发中心，含ASML EXE:5200扫描仪和5万平方英尺洁净室 [4][6] - 项目目标包括缩短研发周期、降低原型成本、培养半导体人才，预计2026年提供High NA EUV技术 [7] EUV替代技术探索 - 美国xLight公司开发自由电子激光器（FEL），声称可兼容现有设备并降低1.5MW高能耗问题，目标2028年商业化 [9][10] - Inversion Semiconductor采用Laser Wakefield Acceleration技术，将加速器体积缩小1000倍至桌面级，晶体管密度提升100% [12][13][14] 日欧技术进展 - 挪威Lace Lithography开发原子光刻技术（BEUV），分辨率超越EUV极限，获欧盟336万欧元资助，目标2031年商用化 [16] - 日本KEK研发自由电子激光器，电光转换效率比传统EUV-LPP高10-100倍 [17][19] 技术发展趋势 - ASML持续推进High NA向Hyper NA演进，同时封装技术可能成为性能提升的替代路径 [21][22] - 全球多路径探索显示EUV技术仍存物理极限挑战，但芯片性能持续提升趋势明确 [21][22]