财务业绩 - 2025年上半年营业收入约49.61亿元，同比增长约43.88% [3] - 2025年上半年归母净利润为6.8亿元到7.3亿元，同比增加31.61%到41.28% [3] 业务增长驱动因素 - 刻蚀设备收入增长约40.12%，达37.81亿元 [4] - LPCVD薄膜设备收入增长约608.19%，达1.99亿元 [4] - 先进逻辑和先进存储产线的刻蚀设备出货量快速增长 [4] - 高端产品新增付运量显著提升，在先进逻辑器件和先进存储器件中多种关键刻蚀工艺实现大规模量产 [4] 研发投入与创新 - 2025年上半年研发投入约14.92亿元，同比增加5.21亿元（增长约53.70%） [6] - 研发投入占营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司平均水平的10%~15% [6] - 研发费用11.16亿元，较2024年上半年增长约5.49亿元（增长约96.65%） [6] - 新产品开发周期从三到五年缩短至两年或更短时间 [5] - 在研项目涵盖六类设备，超二十款新设备的开发 [5] 产品开发进展 - LPCVD薄膜设备累计出货量已突破150个反应台 [6] - EPI设备已进入客户端量产验证阶段 [6] - Micro-LED和高端显示领域的MOCVD设备开发及客户验证取得良好进展 [6] - 正在开发用于碳化硅和氮化镓基功率器件应用的相关设备 [6] - 其他多个关键薄膜沉积设备研发项目进展顺利，有望尽快进入客户验证阶段 [6]