公司业务与市场地位 - 公司是国内薄膜沉积设备龙头,围绕薄膜沉积与三维集成两大方向拓展产品矩阵,已形成PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD等薄膜沉积设备,并布局先进键合及配套量检测设备[2] - 公司设备已在国内逻辑芯片、存储芯片等主流集成电路制造产线实现规模化导入与广泛应用,订单及收入快速增长[2] - PECVD是公司收入核心来源,2025年累计出货实现3,400个反应腔,其中400余个为适配先进制程的新型高产能平台[2][11] - ALD设备2025年累计出货超过140个反应腔,PE-ALD多款介质薄膜材料设备量产规模快速提升,Thermal-ALD可沉积金属薄膜,首台TiN工艺产品通过客户验证[11] - 三维集成设备面向先进存储、CIS、HBM、Chiplet等方向,晶圆对晶圆混合键合设备已获重复订单并实现量产,新一代产品已发货验证,首台熔融键合设备通过客户验证,C2W设备正在客户端验证[12] 财务表现与运营状况 - 2025年公司实现营业收入65.19亿元,同比增长58.87%;2026年第一季度实现营业收入11.12亿元,同比增长56.97%[3][14] - 分产品看,2025年PECVD实现销售收入约51.42亿元,同比增长75.27%;ALD实现销售收入约3.01亿元,同比增长191.82%;混合键合设备实现营业收入1.36亿元,同比增长41.92%[3][14] - 2025年公司毛利率为35.0%,同比下降6.7个百分点,主要因营业成本增速高于收入增速;2026年第一季度毛利率回升至41.7%[3][18] - 2025年公司实现归母净利润9.27亿元,同比增长34.7%;扣非归母净利润7.23亿元,同比增长103.1%[3][20] - 2026年第一季度实现归母净利润5.71亿元,扣非归母净利润1.02亿元,较去年同期均实现扭亏为盈[3][21] - 2025年末公司存货账面价值为78.26亿元,合同负债达48.52亿元;2026年第一季度末存货进一步增至82.14亿元,合同负债为48.77亿元,订单储备及后续收入转化基础较为充足[3][23] 收购无锡尚积交易 - 公司拟通过发行股份及支付现金方式收购无锡尚积100%股份并募集配套资金,其中直接收购无锡尚积82.97%股份,并通过收购上海泰纳微和无锡宽行100%股权间接取得剩余股份,发行股份购买资产价格为383.57元/股[5][25] - 无锡尚积主要面向功率器件、MEMS、射频芯片、化合物半导体、先进封装及集成电路等领域提供关键制程设备,已形成以PVD为核心、CVD与干法刻蚀协同拓展的产品布局[5] - 2024-2025年,无锡尚积营业收入由2.14亿元增长至3.41亿元,净利润由0.20亿元增长至0.34亿元;2026年1-5月实现营业收入1.19亿元,净利润0.13亿元[5][32] - 无锡尚积PVD设备已实现深宽比15:1以上TSV/TGV铜金属种子层沉积,2024年向头部晶圆厂交付首款12英寸PVD并陆续拓展多个应用场景,12英寸干法刻蚀设备已完成开发并获得客户订单[5][31] 收购的战略意义与协同效应 - 收购有望快速补齐PVD产品线,完善对主流薄膜沉积工艺的覆盖,推动公司向平台型设备厂商升级[6][39] - 无锡尚积的PVD及刻蚀设备可应用于RDL、TSV、TGV等三维集成核心工艺环节,与公司现有先进键合及配套量检测设备形成协同,有望完善三维集成设备产品线,提升客户粘性与单客户价值量[6][40] 行业市场与竞争格局 - 2025年全球半导体芯片制造设备销售额增长11%,达到约1,157亿美元,占全球半导体设备销售额约86%[33] - 2025年全球薄膜沉积设备市场规模约为255亿美元,中国大陆市场规模约93亿美元,薄膜沉积设备占前道制造设备市场的22%[33] - PECVD是薄膜设备中占比最高的类型,约占整体薄膜沉积设备市场的33%,溅射PVD设备占比19%,ALD设备占比约为11%[33] - 薄膜沉积设备市场由AMAT、ASMI、LAM、TEL等国际巨头垄断,在ALD市场中TEL和ASMI分别占据31%和29%份额,PVD市场中AMAT占85%,CVD市场中AMAT/LAM/TEL合计占70%[35]
【招商电子】拓荆科技:薄膜沉积设备龙头,收购无锡尚积加速平台化升级