半导体温控设备行业概述 - 半导体温控设备（Chiller）是半导体制造中用于精确控制反应室温度的关键设备，通过制冷循环和工艺冷却水热交换实现温度、流量和压力的高精密控制 [1] - 设备工作原理：循环液吸收反应腔热量后，通过热交换器传递给制冷剂，最终由工艺冷却水释放热量 [1] 市场规模与增长 - 2031年全球市场规模预计达12.3亿美元，2025-2031年CAGR为5.9% [3] - 消费市场：中国为最大消费市场（2024年占26.58%），其次为北美（23.75%）、中国台湾（20.02%）和韩国（13.6%） [7] - 高增长地区：中国和东南亚2025-2031年CAGR分别为7.22%和9.37% [7] 生产格局与区域分布 - 主要生产地区：北美（30.1%）、韩国（20.89%）、日本（20.89%）和中国（23.61%）主导2024年市场份额 [7] - 中国生产增速最快，预计2031年份额将提升至41.15% [7] 产品与技术分析 - 产品类型：双通道Chiller占比最高（2031年预计达53.17%） [7] - 冷却工艺：液冷型为主流（2024年份额超81%），风冷型和混合型次之 [8] - 技术路线：压缩机型和热交换型为主，热电TEC型增长最快 [9] 应用领域 - 主要应用于半导体刻蚀设备（2024年占61.52%），2025-2031年CAGR约5.65% [7] - 其他应用包括涂胶显影、离子注入、扩散工艺、薄膜沉积等 [10] 竞争格局 - 全球前10大厂商占据80.2%市场份额（2024年），核心企业包括ATS、Shinwa Controls、京仪装备、Unisem等 [9] - 主要厂商覆盖北美、日韩及中国市场 [10] 数据来源 - 数据基于QYResearch《全球半导体温控设备市场研究报告2025-2031》 [5][7] - 企业调研侧重近三年主要厂商的产能、销量、销售收入等指标 [9]