Workflow
台阶流动生长法
icon
搜索文档
日企开发出全球最大级别的金刚石基板
日经中文网· 2025-03-30 10:35
金刚石基板技术突破 - 日本精密零部件制造企业Orbray开发出全球最大级别金刚石基板 尺寸为2厘米见方 [1] - 计划将尺寸增大至2英寸直径(约5厘米) 目标2026年实现产品化 应用于功率半导体及量子计算机等领域 [1] 技术细节 - 金刚石晶体结构以碳原子为顶点的立方晶格扩展 基板表面主要有(100)面和(111)面两种类型 [2] - (111)面类型适用于电子工业应用 但存在尺寸难以增大的技术难题 [3] - 公司开发出在特殊蓝宝石基板上生长金刚石晶体的技术 推测采用改良版台阶流动生长法 通过倾斜基板减轻晶体应力 [4]