科研设备采购趋势 - 2024年11月国内多所单位集中启动高精度光刻设备采购 涵盖无掩膜直写 接触式曝光及双光子三维直写等前沿技术路线 [2] - 采购活动反映出科研与产业领域对微纳加工能力提升的持续需求 [2] 主要采购项目详情 - z ycgr22011903单位发布自动型接触式光刻机采购项目 预算达1020.78万元 为本次预算最高的采购项目 提供完整接触式光刻解决方案 [3][4] - 南京大学拟采购无掩膜激光直写光刻机一套 预算180万元 主要用于硅基晶圆及功能膜层的亚微米图形化加工 [6][7] - 中国科学院高能物理研究所采购双光子三维激光直写光刻机 预算125万元 专注于三维微纳结构加工能力 适用于复杂三维器件的直写制造 且不接受进口设备 [9]

摘要 ： 近日，玉之泉推出的AOD紫外激光直写光刻系统亮相深圳光博会，吸引众多参会者驻足了解。 特别提示 微信机制调整，点击顶部"仪器信息网" → 右上方"…" → 设为 ★ 星标，否则很可能无法看到我们的推送。 在微纳制造领域，紫外激光直写光刻技术正持续推动着芯片、传感器和先进光学元件的高精度与柔性化发展。随着全球智能制造与高科技产业 升级，AR/VR、生物医疗和集成光子学等前沿应用的不断拓展，市场越发渴求兼具高分辨率、出色稳定性和高度灵活性的光刻解决方案。在这 一背景下，玉之泉推出的AOD紫外激光直写光刻系统，深度融合声光偏转技术、激光精密调控与闭环反馈微纳加工技术，可直接在基材上"书 写"任意二维/2.5维微纳结构，以其卓越的直写性能、广泛的工艺兼容性、智能化的加工模式及绝对的成本优势，剑指国际紫外激光直写光刻 技术之巅，开启了紫外激光直写微纳加工的全新范式。 该系统于近日亮相深圳光博会，吸引众多参会者驻足了解。 一、卓越的直写性能：精度与效率的平衡艺术 玉之泉研发的AOD紫外激光直写光刻系统，重新定义了精密加工的精度与效率边界。 1.超精细加工能力 系统搭载高分辨写头，最小特征尺寸可达250nm，能够 ...

空天信息大学仪器设备采购 - 空天信息大学发布5项仪器设备采购意向，预算总额达2.55亿元，涉及应力测试仪、非接触式白光干涉仪、圆片测厚仪、椭偏仪、场发射扫描电镜、台阶仪、显微镜等设备 [1][2] - 采购预计时间为2025年5~6月 [2] 卫星导航仿真与增强实验室建设 - 卫星导航仿真与增强实验室仪器终端采购项目预算4300万元，拟采购信号发生器、高精度原子钟、脉冲分配器、信号采集与回放设备、高精度组合导航参考系统、安全认证源等设备，支撑卫星导航信号仿真、测试、时间基准等实验教学与科研需求 [4] - 卫星导航教学及智控相关系统采购项目预算4350万元，拟研制新体制多模导航合路信号源、空天导航全链路综合仿真系统、星间激光传递系统、安全认证控制系统等，建设统一的卫星导航仿真综合实验与教学平台 [4] 重点强化实验室建设 - 重点强化实验室建设项目预算1700万元，拟采购砂轮划片机、键合机、管壳打标机、网络分析仪、频谱分析仪、倒置荧光显微镜、原子力显微镜、方阻测试仪等设备，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4][5] 先进微纳加工平台建设 - 材料生长设备采购项目预算8600万元，拟采购铜填充电镀系统、ALD镀铜机、金属磁控溅射台、氧化物磁控溅射台、热蒸发台、多片式电子束蒸发台等设备，实现高质量薄膜材料生长工艺 [5] - 高精度图形转移设备采购项目预算6500万元，拟采购步进式光刻机、光刻机配套匀胶喷胶及显影系统、光刻机配套等离子去胶机等设备，实现高精度图形转移和去胶工艺 [5]