空天信息大学仪器设备采购 - 空天信息大学发布5项仪器设备采购意向，预算总额达2.55亿元，涉及应力测试仪、非接触式白光干涉仪、圆片测厚仪、椭偏仪、场发射扫描电镜、台阶仪、显微镜等设备 [1][2] - 采购预计时间为2025年5~6月 [2] 卫星导航仿真与增强实验室建设 - 卫星导航仿真与增强实验室仪器终端采购项目预算4300万元，拟采购信号发生器、高精度原子钟、脉冲分配器、信号采集与回放设备、高精度组合导航参考系统、安全认证源等设备，支撑卫星导航信号仿真、测试、时间基准等实验教学与科研需求 [4] - 卫星导航教学及智控相关系统采购项目预算4350万元，拟研制新体制多模导航合路信号源、空天导航全链路综合仿真系统、星间激光传递系统、安全认证控制系统等，建设统一的卫星导航仿真综合实验与教学平台 [4] 重点强化实验室建设 - 重点强化实验室建设项目预算1700万元，拟采购砂轮划片机、键合机、管壳打标机、网络分析仪、频谱分析仪、倒置荧光显微镜、原子力显微镜、方阻测试仪等设备，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4][5] 先进微纳加工平台建设 - 材料生长设备采购项目预算8600万元，拟采购铜填充电镀系统、ALD镀铜机、金属磁控溅射台、氧化物磁控溅射台、热蒸发台、多片式电子束蒸发台等设备，实现高质量薄膜材料生长工艺 [5] - 高精度图形转移设备采购项目预算6500万元，拟采购步进式光刻机、光刻机配套匀胶喷胶及显影系统、光刻机配套等离子去胶机等设备，实现高精度图形转移和去胶工艺 [5]

空天信息大学仪器设备采购 - 空天信息大学发布10项仪器设备采购意向，预算总额达5.07亿元，涉及晶圆临时键合机、晶圆解键合机、解键合清洗机、临时键合匀胶机、多功能键合机、键合对准机、超精密减薄机、CMP研磨抛光系统、晶圆红外检测系统、光学检测系统AOI、超声波扫描显微镜等设备 [1][2] - 采购项目包括高精度光刻机采购（预算5000万元）、先进微纳加工平台高精度光刻机配套（预算1000万元）、键合贴片设备采购（预算6000万元）、晶圆自动键合系统采购（预算6000万元）、电镀工艺设备采购（预算2000万元）、重点强化建设实验室集成电路设计与微纳加工设备采购（预算6900万元）、介质薄膜生长工艺设备采购（预算6000万元）、超精密减薄抛光设备采购（预算6000万元）、硅硅自动键合设备采购（预算6800万元）、刻蚀工艺设备采购（预算5000万元） [4][5] - 采购时间集中在2025年4月至5月，主要用于先进微纳加工平台建设和重点强化实验室建设，满足电子与集成电路学院的专业基础教学和科学研究需求 [4][5] 空天信息大学背景 - 空天信息大学位于山东省济南市章丘区，是正在筹建中的山东省属公办普通本科高校，由山东省人民政府主办，纳入教育部高校设置"十四五"规划，是中国首所以"空天信息"命名的高等院校 [2] - 校园占地面积1123亩，规划总建筑面积约65万平方米，校园设计体现"齐鲁风韵、泉城特色、现代气质"的理念 [2]