技术突破 - 中国科学院新疆理化技术研究所科研团队成功研制出一种高灵敏超薄温度传感器 厚度仅有40微米 [1] - 该传感器具备优异的灵敏度和响应速度 电阻温度系数高达-4.1%/℃ 响应时间仅192毫秒 [2] - 研究团队采用“水溶性牺牲层辅助转移”策略和高温制备与器件构筑的分步法 解决了高性能敏感材料与柔性基底之间的工艺兼容性难题 [1] 性能与结构 - 传感器在反复弯折与热冲击下仍能稳定工作 展现出优异的可靠性与结构完整性 [2] - 研究团队设计并构筑了氧化锗/氧化钽/锰钴氧化物异质界面结构 有效抑制了界面处的元素扩散和热应力失配 [2] 应用前景 - 该技术有望为下一代电子皮肤、可穿戴设备等柔性智能感知系统提供有力的技术支撑 [1] - 在智能医疗与机器人感知领域 柔性温度传感器的超薄化是实现高贴合度与集成度的核心前提 [1]