石英玻璃概述 - 石英玻璃由高纯度二氧化硅（SiO）单一组分构成，分为天然石英玻璃（普通石英玻璃）和合成石英玻璃（高纯石英玻璃）[2] - 应用领域广泛，国内外厂商众多，牌号复杂，用户选择困难[2] 国内标准 - 国内石英玻璃采用建材行业标准JC/T 185，历经1981、1996、2013三次换版[4] - 1981版分为远紫外光学石英玻璃（JGS1）、紫外光学石英玻璃（JGS2）、红外光学石英玻璃（JGS3）[4] - 1996版分为远紫外光学石英玻璃（ZS-1）、紫外光学石英玻璃（ZS-2）、可见光学石英玻璃（KS）、红外光学石英玻璃（HS）[4] - 2013版分为紫外光学石英玻璃（ZS）、可见光学石英玻璃（KS）、红外光学石英玻璃（HS）[5] - 国外标准参考MIL-G-174B和ISO 12123，对光学均匀性、条纹等关键指标有规定[5] 羟基影响 - 羟基是石英玻璃的关键缺陷，影响透过率，高羟基含量导致红外光谱2.73μm处吸收峰透过率降低[7] 国内厂商及牌号 - 菲利华光学石英玻璃分为五类：低膨胀石英（LEQZ）、少羟基石英（F-HDUR）、有水合成石英（F-HUV）、无水合成石英（F-HIR）、无氯合成石英（FNCL）[10] - F-HUV适用于高端光学领域，F-HIR在红外激光系统中表现卓越，FNCL适合紫外波段应用[10] - 中建材金格兰光学石英玻璃分为JC-Z、JC-H、JC-K01、JC-WS四大系列[12] - JC-Z适用于紫外波段，JC-H适用于紫外、可见、红外，JC-K01适用于可见光波段，JC-WS适用于可见、近红外[12] - 长飞光学石英玻璃分为零膨胀、超低羟基、低羟基、高羟基、深紫外光学等类别[12] - 工业激光应用推荐YS-330L、YS-330或YS-320，强激光应用推荐YS-2330或YS-1320[12] - 神光光学石英玻璃适用于普通精密光学领域[13] - 亨芯光学石英玻璃分为HOSQ-01、HOSQ-02（对标JGS1和Corning 7980）、HOSQ-03（对标Corning 7979）[15] - 中天南通晶体光学石英玻璃有六个牌号，包括适用于ArF（193nm）级的NTCM-01和KrF（248nm）级的NTCM-03[15] - 锦州海普新材料光学石英玻璃有HP3001（对应JGS1）和HP3003（对应JGS3）[16] 国外厂商及牌号 - 康宁（Corning）光学石英玻璃主要牌号：Corning HPFS 7979（红外应用）、7980（多种规格）、8655（深紫外应用）[18] - 8655金属杂质和羟基含量低于7980 ArF级，193nm波长透过率更高[18] - 贺利氏（Heraeus）光学石英玻璃常用牌号：Suprasil 300系列（超低金属杂质、低羟基）、Suprasil 31X系列（羟基含量低于250ppm）、Suprasil 1和2（深紫外和可见波长应用）[20][21] - 尼康（NIKON）光学石英玻璃分为NIFS-V、A、U、S四个等级，V激光耐久性最高，S为标准级别[23] - 日本小原（OHARA）光学石英玻璃包含SK-1300（基础型号）、SK-1310（低羟基）、SK-1320（高功率激光）[23] - 日本东曹（TOSOH）光学石英玻璃包含ES系列（紫外和普通光学应用）和ED-H（深紫外应用）[23]