芯片设备行业概况 - 建设一条5nm芯片生产线成本超过100亿美元 其中设备采购成本超过50亿美元 [1] - 全球芯片设备销售规模2024年达1171.4亿美元 同比增长10% [3] - 中国大陆市场占全球芯片设备销售额42% 达495.5亿美元 同比增长35% [3][4] 区域市场表现 - 韩国市场销售额20.47亿美元 同比增长3% 规模仅为中国大陆市场的41% [3][4] - 北美市场销售额13.69亿美元 同比增长14% [4] - 欧洲市场销售额4.85亿美元 同比下降25% [4] - 日本市场销售额7.83亿美元 同比下降1% [4] - 中国台湾市场销售额16.56亿美元 同比下降16% [4] 中国半导体设备自给率 - 2023年中国半导体设备自给率11.7% 2024年提升至13.6% [5] - 按13.6%自给率计算 2024年进口设备金额约428亿美元(3100亿元人民币) [7] - 乐观估计自给率20%情况下 进口金额仍达2900亿元人民币 [7] 国产设备技术现状 - 国产设备主要覆盖45nm及以上成熟工艺 28nm工艺部分覆盖 [8] - 14nm工艺仅有少数设备实现突破 7nm工艺覆盖更少 [8] - 具体国产化率：光刻机1% 涂胶显影设备(芯源微) 金属刻蚀机7%(北方华创) CVD设备11%(北方华创) 清洗机20% CMP设备8%(华海清科) [8] - 离子注入机国产化率9%(中科信) 氧化炉14% 量测设备8%(容励科学) [8] 行业发展潜力 - 若自给率提升至50% 年进口金额可减少1000多亿元人民币 [9] - 先进工艺设备(28nm及以下)国产替代空间巨大 [7][8]