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高介电常数金属栅(HKMG)工艺
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长鑫科技重磅宣布!
国芯网· 2026-09-21 19:44
长鑫科技G5平台量产及行业影响 - 长鑫科技在2026世界制造业大会上宣布第五代DRAM技术平台(G5平台)实现量产 [2] - G5平台核心突破在于制程微缩,依托四重曝光技术将内存阵列有源区半间距微缩至11.95纳米,接近全球最顶尖内存量产平台制程 [2][4] - 作为参照,三星当前最先进DRAM节点为12纳米级,长鑫G5的11.95纳米已媲美三星量产水平 [2] - 该突破是在不依赖EUV光刻机条件下,使用ArF浸没式DUV实现的 [2] - 长鑫科技副总裁骆晓东介绍,通过变革工艺流程、采用新材料,存储电容深宽比达45:1 [4] - 开发适配DRAM工艺的高介电常数金属栅(HKMG)工艺,成功将平台核心功能区高度缩小到6762纳米 [4] - 平台微缩工艺突破推动存储密度实现跨越式提升,每片晶圆产出裸片数量较第四代平台提升至少50% [4] - 在产品能效、成本控制上均具备显著优势 [4] - 长鑫科技展出了基于G5平台打造的大容量LPDDR5X产品,并首次公开展示已量产的LPDDR6内存 [2] 长鑫科技发展历程与资本市场表现 - 长鑫存储第一代技术平台在2019年世界制造业大会上官宣,当时10纳米级第一代8Gb DDR4首度亮相 [4] - 2026年7月,长鑫科技正式登陆科创板,上市首日市值突破3.28万亿元,登顶A股市值榜首 [4] - 招股说明书显示,长鑫科技是我国规模最大、技术最先进、布局最全的DRAM研发设计制造一体化企业 [4] - 2026年上半年,伴随全球存储芯片价格持续暴涨,长鑫科技业绩实现跨越式反转,彻底扭转此前经营颓势 [4] 未来展望 - 长鑫科技将持续面向全球市场需求推进技术迭代,推出更高性能、更高可靠性的存储产品 [5] - 公司将继续为全球数字产业发展提供坚实的底层存储支撑 [5]