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Micro LED巨量转移技术
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福州大学联合瑞典高校取得Micro LED巨量转移新成果
WitsView睿智显示· 2025-07-28 13:36
近日,外网消息, 福州大学联合瑞典查尔姆斯理工大学在Micro LED巨量转移制程上取得 重要 进展 。 研究团队成功开发出一种无残留聚合物的超高良率 Micro LED 激 光巨量 光转移方法。该成果有 望 大幅 提升 Micro LED 在AR/VR、可穿戴设备、智能眼镜等前沿显示应用中的商用化速度。 研究团队采用激光诱导转移(Laser-Induced Transfer)方案,结合大数据分组分析与经验数学 模型,有效提高了芯片转移的精准性与良率。该方法通过控制激光剥离能量在1200–1500 mJ/cm²的范围内,实现了极高的芯片保 留 率;在后续二次转移阶段,当激光能量密度与芯片 下 沉深度 满足特定关系,且激光光斑尺寸为30×38微米时,转移良率达到100%。 研究团队 表示, 传统 巨量转移 技术如静电吸附、微印章或滚轮印章在大规模应用中存在诸多限 制。例如,静电转移可能因电荷积聚损伤芯片,微印章受限于光刻精度,滚轮印章难以达到所需对 位精度。而本次提出的激光转移技术不仅能精准控制激光焦点深度,还避免了芯片表面损伤和转移 偏移,具备优异的稳定性与灵活性。 研究还发现,芯片在转移至第二临时载体过程中 ...