核心采购计划概览 - 多个科研项目近期集中发布了24项高端仪器设备的政府采购意向，总预算金额高达2.19亿元人民币 [1][2] - 所有设备的预计采购时间均为2025年12月 [2] - 采购清单覆盖了从薄膜沉积、刻蚀、抛光到材料生长、转移、表征等半导体及先进材料研发的全链条关键工艺设备 [2] 薄膜沉积与生长设备采购意向 - **原子层沉积（ALD）设备**：预算750万元，要求具备热法和等离子体增强两种沉积方式，可处理8英寸晶圆，片内厚度均匀性需小于5% [4] - **等离子增强化学气相沉积（PECVD）设备**：预算350万元，要求低温沉积（<400°C）且具备高沉积速率 [5] - **金属分子束外延（MBE）系统**：预算1450万元，要求超高真空度（≤10⁻¹⁰ Torr），衬底温度精确可调（10-400℃），并配备预处理腔 [5] - **金属电子束蒸镀系统**：预算600万元，要求超长工作距离（≥60cm），用于二维材料器件电极制备 [5] - **离子束沉积设备**：预算900万元，要求本底真空达1x10⁻¹⁰ mbar，兼容8英寸晶圆，温度范围从室温至900℃ [5] - **超高真空原子层沉积设备**：预算610万元，要求本底真空≤1x10⁻⁹ mbar，兼容8英寸至2英寸晶圆，用于高质量绝缘材料及金属薄膜沉积 [5] - **磁控溅射设备**：预算145万元，要求8英寸范围内薄膜均匀性小于5%，用于半导体器件金属互联与功能层制备 [6] - **热壁MOCVD系统（8英寸）**：预算800万元，最高加热温度1100℃，用于Mo、W等体系二维半导体的可控制备 [7] - **冷壁MOCVD系统（8英寸，MoS₂）**：预算1600万元，要求单晶覆盖率大于99%，载流子迁移率大于150 cm²V⁻¹s⁻¹ [7] - **冷壁MOCVD系统（8英寸，WSe₂）**：预算1600万元，要求单晶覆盖率大于99%，用于P型二维材料的生长工艺探索 [7][8] 刻蚀与抛光设备采购意向 - **感应耦合等离子刻蚀（ICP）设备**：预算700万元，要求最大可容纳200mm晶圆，片内均匀性小于2% [5][6] - **等离子刻蚀设备**：预算550万元，要求优异的刻蚀均匀性（片内<8%，片间<5%） [5] - **原子层刻蚀（ALE）设备**：预算750万元，要求刻蚀精度小于1nm/循环，最大可加工200mm晶圆，均匀度小于±2% [6] - **化学机械抛光（CMP）系统**：预算550万元，用于8英寸晶圆表面平坦化，要求不均匀性小于5%，表面粗糙度≤0.4nm [6] 表面处理与辅助工艺设备采购意向 - **远程等离子体表面处理机**：预算450万元，用于材料表面清洗、活化与钝化，要求低损伤，特别针对二维材料器件表面残胶去除 [4][5] - **衬底钝化设备**：预算100万元，用于8英寸晶圆表面实现稀土氧化物单分子层均匀钝化，不均匀性要求小于2% [7] - **衬底退火设备**：预算150万元，最高退火温度1150℃，单次处理能力25片，用于原子级平整表面构筑 [7] - **真空管道与传输系统**：预算3950万元，要求本底真空度≤5E-10 Torr，为样品在不同工艺腔体间提供超高真空传输通道 [7] - **真空团簇腔体**：采购6套，总预算2550万元，要求真空度达10⁻¹⁰ Torr量级，机械手定位精度0.2毫米，用于不同表征设备间的样品无缝传输 [7] - **二维材料真空转移设备（8英寸）**：预算600万元，要求实现8英寸晶圆无损低污染转移，转移完整率大于99.99% [8] 材料表征与分析设备采购意向 - **低能电子衍射（LEED）仪**：预算50万元，电子能量范围5~750 eV，用于快速表征二维材料单晶性质及晶体取向 [6] - **原子力显微镜（AFM）**：预算270万元，支持8英寸晶圆自动多点快速扫描，用于二维材料及器件的高分辨形貌表征 [6] - **超高真空低温扫描探针显微镜（SPM）**：预算1200万元，工作温度5~300 K，温度稳定性要求±5mK [6] - **扫描隧道显微镜（STM）**：预算1200万元，要求工作在超高真空、极低温（1.8K-300K）、强磁场(8T)条件下，实现原子级分辨率(1Å)表征 [6][7]

采购项目核心概况 - 中国科学院合肥物质科学研究院发布29项仪器设备采购意向，预算总额高达3.33亿元[2][3] - 采购计划预计执行时间为2025年12月[3] - 此次采购是继2025年7月预算9313万元和2025年10月预算9390万元采购意向后的又一批次大规模采购[8] 重点采购仪器设备介绍 - 高通量纳米孔基因测序仪基于纳米孔单分子测序技术，无需PCR扩增即可直接测序，具有长读长和直接检测甲基化修饰的能力，其高通量特性可同时处理多个样本，成本较二代测序技术更低[4] - 超低本底液闪谱仪是一种高灵敏度核仪器，主要用于环境、生物等样品中极低水平3H、14C及其他α、β核素的放射性活度测定，采用时间分辨液体闪烁计数技术[5] - 高纯锗谱仪以高纯度锗晶体为核心探测器，需在-196℃低温下运行，主要应用于核素识别、辐射监测、医疗卫生、环保、核污染排查、暗物质探测及矿产勘探[6] 主要采购项目详情 - 液态氚提取单元预算最高，达1.7032亿元，主要用于演示和验证液态锂铅中氢同位素的提取技术，要求锂铅运行流量＞60kg/s，氚提取效率＞95%[10] - 自动控制单元预算1176万元，用于建立内部网络并协调各实验平台联动控制，要求氚监测应急响应时间不大于3秒，安全联锁响应时间不大于1秒[9] - 氢同位素深度浓集单元预算4170万元，用于接收低温精馏系统产生的氢同位素气体进行深度浓集，产出高丰度的氘和氚，要求产品气重组分丰度≥90%[10] - 氚提取与回收系统设计预算3000万元，旨在满足500MW聚变堆包层增殖氚处理需求的综合实验平台，要求固态增殖材料中氚提取效率＞95%，氚回收效率≥99%[10] 其他关键设备采购 - 高能脉冲激光器预算100万元，输出波长覆盖1064nm、532nm、355nm，输出能量≥400mJ，能量稳定性≤3%[10] - 介质除氚系统设计预算2204万元，包含气体、液体除氚材料考核单元及催化反应器测试系统，最大流量可达1500Nm³/h[10] - 双臂移动维护机器人预算325万元，要求机械臂自由度≥6，单臂负载≥20Kg，可重复定位精度±0.1mm[11] - 热等静压设备预算340万元，额定工作压力200MPa，最高工作温度1400℃，热区尺寸Φ200mm×300mm[14]

采购计划概览 - 中国科学院空天信息创新研究院发布41项仪器设备采购意向，预算总额达1.03亿元 [2][3] - 采购计划预计执行时间为2025年8月至12月 [3][7] 主要采购设备与技术规格 - **质子转移反应飞行时间质谱仪 (PTR-TOF-MS)**：用于高灵敏度、高分辨率实时在线分析气相和气溶胶中挥发性有机化合物 (VOCs)，结合质子转移反应和飞行时间核心技术 [4] - **大气参数原位测量仪**：直接在测量现场对大气成分和气象参数进行实时在线监测，可精确测定二氧化碳、甲烷等温室气体浓度及相关气象参数，预算270万元 [5][9] - **大气超光谱辐射测量仪**：基于"图谱合一"原理，获取二维空间信息并对每个像素进行色散处理，形成数十至数百个连续光谱覆盖，预算480万元 [6][9] - **聚焦离子束扫描电镜**：用于微传感器样品的聚焦离子束扫描，电子束分辨率≤0.8nm @ 30kV，离子束分辨率≤3nm @ 30kV，预算441万元 [12] - **超宽带SAR雷达收发芯片及链路测试系统设备**：实现大带宽信号产生和收发，工作带宽≥18GHz，采样率≥36GSa/s，预算581万元 [12] 科研能力建设方向 - 采购设备覆盖空天信息领域多个前沿方向，包括高光谱遥感、大气环境监测、微波成像、人工智能处理等，体现了公司在空天信息科技领域的全链条布局 [9][12][13][14] - 研究院通过整合中国科学院电子学研究所、遥感与数字地球研究所、光电研究院组建而成，拥有31个国家级/院级重点实验室，职工4500余人，包括院士6人 [15] - 未来将进一步建设强大的空天信息研究团队，通过建设中国科学院大学电子学院和光电学院，形成科教融合新机制，目标成为国内排名第一、国际前列的高端人才培养机构 [16]

中国科学院近代物理研究所采购计划概览 - 研究所发布18项仪器设备采购意向，预算总额达1.00亿元 [1][2] - 采购预计在2025年5月至8月期间进行 [2][3] 主要采购设备与技术规格 射频功率与加速器核心系统 - **P波段高功率固态功率源**：采购15台，工作频率650MHz±5MHz，单机功率输出不低于70kW，要求采用全国产器件，合同签订后8个月内完成交付 [4] - **HWR040超导腔功率耦合器**：采购25支，工作频率325MHz，最大连续波功率10kW，真空漏率要求优于1×10⁻¹⁰ mbar·L/s，生产周期9个月 [6] - **HWR040超导腔**：采购21支，包括腔体、磁屏蔽、液氦槽及附件，生产周期10个月 [6] - **波导传输线组件**：采购16套，工作频率650MHz±5MHz，插入损耗≤0.01dB，合同签订后24个月内交付 [5] 束流控制与磁铁系统 - **低功率靶站束线电源标准电流模块**：采购130台，包含±100A/24V（72个）、±100A/12V（34个）、±100A/50V（24个）等规格，预期使用寿命10年 [6] - **氧化镁绝缘磁铁**：采购1台二极磁铁和1台四极磁铁等，共计10台，最高磁场1.5T [7] - **铁氧体铁芯扫描磁铁**：采购14台（7台水平，7台垂直），最高磁场452Gs，合同签订后5个月内交货 [7] - **抗辐照环氧磁铁**：采购9台（包括二极和四极磁铁），最高磁场1.5T，合同签订后5个月内交货 [7][8] 靶体与回路系统 - **靶体回路系统**：采购1套，用于高功率散裂靶关键技术研发，设计温度520℃，设计压力1.6 MPa，LBE（铅铋合金）用量约1900升 [4][5] - **同位素靶站2靶窗管道自动更换系统**：包含靶窗管道、自动装卸系统等，靶窗管道外径Φ230毫米，总长度约2500mm，合同签订后5个月内完成加工交付 [7] 冷却与支持系统 - **ADANES项目加速器升能用水冷系统**：为恒温器、功率源机柜等提供冷却，包含工艺一次水冷管道系统和冷冻水系统，合同签订后18个月内完成 [5] - **同位素弱电机柜**：采购103台，设计寿命不小于15年，单机柜承重200kg，供货周期40个日历天 [6] - **低温温度传感器及温度监视器**：采购温度传感器648只、温度监视器81台，货期要求合同签订后2-4个月内 [8] 探测与电子学系统 - **伽马相机**：用于测量伽马射线谱信息及实时图像，探测器使用>19.3 cm³ CZT晶体，γ射线能量分辨率≤1.1% @ 661.66keV [6] - **中子测量核电子学定时系统**：采购1套，具备至少十路探测器数据处理能力，中子测量时间分辨率高于2ns，供货期6个月内 [9] 专用研发设备 - **智能化卷膜设备及附属系统**：采购1套，卷膜幅宽700mm，速度最高600m/min，具备自动换料功能，合同签订后5个月内交货 [8] - **工艺设备热室操作的冷台架**：采购2台，包含模拟热室和机械手，最大负载能力15Kg，合同签订后12个月内交货 [8] - **DTL加速腔**：采购2个腔体，工作频率3000±0.5MHz，将质子束流从10MeV加速到20MeV，货期两个月 [8]