来源： 励德MEMS官微 突发故障 极速响应 某半导体企业产线深硅刻蚀机突发报警，工艺中断！ 西安励德技术团队当天极速响应， 抵达现场展开系统性排查。 精准诊断 锁定病灶 初步排查 对气体管路、密封件等核心部件进行全面检测，发现bell jar异常磨损，立即进行专业拆卸并进行标 准清洗，排除各类污染对检测结果的影响。 深度检测 高能等离子体持续轰击+混合气体化学腐蚀， 无修复可能。 解决方案 √ 紧急协调现货配件资源 激光共聚焦显微镜扫描显示： 表面粗糙度骤升，最大磨损深度达0.2mm 密封性测试确认： 部件已无法继续使用。 定制方案 保障生产 问题根源 √ 48小时内完成调货、安装、调试，帮助客户快速复机 √ 同步启动定制加工流程 超精加工 多维质控 材质匹配 光谱仪+SEM严格检测 ， 确保与原厂标准一致。 01 02 01 日立 SU8010 高分辨场发射扫描电子显微镜 三维测量与优化 √ 检测方案： 硅 / 陶瓷 / 石英采用非接触式激光扫描，避免脆性材料损伤； 金属 / 聚合物使用红宝石探针三坐标测量，精度达 ±0.003mm。 √ 模型优化： 建立三维模型，根据客户现场使用情况进行针对性改进。 精 ...