核心技术突破 - 真空环境超洁净晶圆传送机械臂项目打破日本乐兹和美国布鲁克斯的长期垄断[1][3] - 创新采用集成化驱动与磁流体密封技术解决真空洁净度控制难题[5] - 基于国产操作系统实现纳秒级响应精度和±0.05mm重复定位精度[6] 产学研合作模式 - 相城高新区牵线河海大学苏州高等研究院与泓浒半导体深度联动[3] - 共建研究生基地实现高校前沿技术向企业工程方案直接转化[6] - "高新区搭台、企业出题、高校解题"模式催生全国产化晶圆真空传送平台[6] 商业化进展 - 设备已导入行业标杆企业并在薄膜沉积、刻蚀等关键制程稳定运行[6] - 累计实现销售收入约1300万元且小批量投产稳步推进[6] - 牵头编制团体标准并获6项国家发明专利筑牢技术壁垒[6]