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单片槽式组合清洗设备(Ultra C Tahoe)
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盛美上海2025年前三季归母净利增长66.99% 差异化创新成果落地
证券时报网· 2025-10-30 10:48
财务业绩表现 - 2025年前三季度公司实现营业收入51.46亿元,同比增长29.42% [1] - 2025年前三季度归母净利润12.66亿元,同比增长66.99% [1] - 2025年前三季度扣非归母净利润11.07亿元,同比增长49.48% [1] 产品与技术进展 - 公司深化“技术差异化、产品平台化、客户全球化”发展战略 [1] - 7月完成对Ultra C wb湿法清洗设备的重大升级以满足先进节点技术要求 [2] - 9月推出首款KrF工艺前道涂胶显影设备Ultra Lith KrF以及首款Ultra ECDP电化学去镀设备 [2] - 清洗设备已覆盖95%的工艺步骤应用,电镀设备实现技术全覆盖 [2] - 拥有SAPS及TEBO兆声波清洗技术、Tahoe单片槽式组合清洗技术等多项目主知识产权原创技术 [2] 研发投入与成果 - 2025年1-9月合计研发投入8.68亿元,同比增长41.89%,占营业收入比重16.87% [4] - 截至6月末公司及控股子公司拥有主要专利494项,其中发明专利489项,占比99% [4] - 公司研发人员规模达1080人,占公司总人数的48.96% [4] - 9月公司单片槽式组合清洗设备(Ultra C Tahoe)获2025年中国国际工业博览会“集成电路创新成果奖” [4] 未来展望与市场策略 - 公司两大龙头产品清洗及电镀设备有望取得50%至60%的市场份额 [3] - 立式炉管、Track以及PECVD设备等平台化产品已陆续投放市场,有望为2026年及今后营收贡献力量 [3] - 公司将继续秉持“技术差异化、产品平台化、客户全球化”的发展战略 [5]