多腔室真空互连镀膜与表征系统
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预算1.81亿元!zycgr采购大批仪器
仪器信息网· 2025-04-04 18:22
政府采购仪器设备采购意向 - zycgr发布34项仪器设备采购意向,预算总额达1.81亿元 [1][2] - 采购涉及电感耦合等离子刻蚀机、任意波形发生器、动态激光干涉仪、高功率激光系统、多腔室真空互连镀膜与表征系统等 [2] - 预计采购时间为2025年5月 [2] 采购项目详情 - 相噪分析仪:采购数量1台,预算137万元,交货期8周,质保期1年 [4] - 超稳激光电控箱鉴定件定制:预算332万元,交货时间4个月,大部分器件用宇航等级 [4] - 光钟实验舱高压鉴定件定制:预算408万元,交货时间4个月,大部分器件用宇航等级 [4] - 光钟伺服箱鉴定件定制:预算948万元,交货时间4个月,大部分器件用宇航等级 [4] - 任意波形发生器:预算250万元,质保2年以上,提供送货安装调试 [4] - 动态激光干涉仪:预算130万元,工作波长632.8nm,斐索型,五个月内到货 [4] - 大口径标准具:预算150万元,工作波长1083nm,滤波带宽小于20pm,口径大于50mm [4] - 望远镜机械加工和集成装调服务:预算800万元,对6个已有的1m望远镜镜片及其次镜进行机械加工和集成装调 [4] - 1064nm波长窄线宽巨脉冲激光器:预算157.6万元,购置2套,线宽<10kHz,单脉冲能量>10mJ [4] - 光频梳:预算352万元,购置2套,重频250MHz,波长范围1540-1590nm,1600-1650nm [4] - 高功率激光系统:预算180万元,购置1台,波长1550nm,平均功率>20W [4] - 单光子面阵探测器:预算210万元,购置3个,感光材料InGaAs,光填充因子>60% [5] - 单频连续钛宝石激光器:预算180万元,采购数量1台,质保期一年以上,货期300天 [5] - 多腔室真空互连镀膜与表征系统:预算240万元,需求1套,真空度优于1×10-4 Pa [5] - 激光器:预算180万元,采购约5台,波长范围1530-1620nm和1630-1700nm [5] - 575可调谐激光器:预算100万元,采购4台,输出功率大于10mW [5] - 575nm可调谐激光器:预算125万元,采购5台,输出功率大于10mW [5] - 637nm可调谐激光器:预算190万元,采购10台,输出功率大于10mW [5] - 超导比特室温控制系统:预算256万元,16路射频激励信号输出,2GSa/sDAC [5] - 极低温强磁场闭环SPM系统:预算930万元,采购数量1,低温最低达到500 mK [5] - 多气体高辉度单色化紫外光源:预算150万元,采购标的1套,能量分辨率1 meV@21.2eV [5] - 全干式变温超导磁铁系统:预算175万元,采购标的1套,变温范围2K-300K [5] - 极低温扫描探针综合表征系统:预算450万元,采购标的1套,交付周期不超过1.5年 [5] - 电子束镀膜机:预算303万元,采购标的1套,主腔体真空优于5×10-8 Torr [5] - 低温镀膜机:预算600万元,支持8英寸或以上基片,最高蒸发速率≥100Å/s [5] - 高真空磁控溅射系统:预算195万元,采购1台,真空度不低于10e-8Torr [5] - 干式稀释制冷机:预算600万元,采购1台,从室温到最低工作温度的典型降温时间小于24小时 [5] - 稀释制冷机系统:预算1200万元,采购2台,连续稳定运行时间大于365天 [5] - 多腔体电子束镀膜机:预算450万元,采购1台,配备等离子刻蚀源及腔体 [5] - 电感耦合等离子刻蚀机:预算450万元,采购1台,用于对半导体材料以及磁性多层膜进行高精度刻蚀 [5] - 大冷量连续流He3:预算198万元,采购1台,采用氦3蒸发制冷 [5] - 超高稳定度广谱光频梳系统:预算418万元,波长范围680nm~1600nm [6] - 低温恒温器:预算170万元,采购数量1台,温度稳定性±25mK [6] - 平台多腔室真空互连镀膜与表征系统:预算6500万元,需求1批,真空度优于1×10-4 Pa [6]