以下文章来源于半导体产业纵横 ，作者鹏程 半导体产业纵横 . 多元化的半导体产业生态服务平台，立足产业视角，提供及时、专业、深度的前沿洞见、技术速递、趋 势解析，链接产业资源，构建IC生态圈，赋能中国半导体产业，我们一直在路上。 Ring）、传送模块（EFEM）、射频电源（RF Generator）、静电吸盘（ESC）、硅环等结构件 （Si）、真空泵（Pump）、气体流量计（MFC）、喷淋头（Shower Head）等。 从功能维度划分，半导体零部件可大致归类为机械加工件类、物料传送类、电气类、真空类、气 液输送类、光学类、热管理类、仪器仪表类等；若以标准化程度为依据，则可分为精密机加件与 通用外购件。其中，精密机加件属于定制化产品，通常由设备厂商自行设计后委托外部企业加工 生产，像腔体、机械手等，此类产品生产难度相对较低；通用外购件则是经过长期实践验证、获 得广泛认可的通用标准品，例如阀门、密封圈（ O-Ring）、规（Gauge）、泵、喷淋头等。由 于这类产品需要通过设备厂商与制造产线的双重认证，因而存在较高的技术壁垒。 在全球科技竞争白热化的当下，半导体产业已然成为国家战略性新兴产业的核心支柱，深刻影响 ...