大族半导体TGV设备技术突破 - 公司成功向多家客户批量交付Panel级玻璃通孔（TGV）设备 这些设备均为通过严苛认证的成熟机型 具有高度稳定性与可靠性[2] - 设备通过国内某TOP3封装厂商验证 攻克大尺寸玻璃基板加工三大难题：深径比突破 孔壁粗糙度控制 大尺寸基板均匀性 显著提升产品良率[4] - 新一代飞秒激光增强玻璃蚀刻技术（FLEE）实现产能跃升 单次处理面积提升300% 封装成本直降40%[4] FLEE-TGV设备技术规格与应用 - 设备加工精度达到国际领先水平 通孔直径≤5μm 深宽比≥50:1 适配铝硼硅 硼硅 石英等多类型材料[4] - 支持最大尺寸730mmx920mm玻璃基板 兼容盲孔 通孔 圆锥孔 方孔 微槽等任意形状加工[4][6] - 在先进封装 显示制造 消费电子 生命科学等领域具有巨大应用潜力 配备高精度监测与自动校正系统[6] 行业会议与产业合作 - 势银联合甬江实验室计划于2025年11月17-19日举办异质异构集成年会 主题为聚焦异质异构技术前沿 共赴先进封装新征程[8] - 会议聚焦三维异构集成 光电共封装 晶圆级键合 TGV与FOPLP等前沿技术 推动技术创新与产业应用深度融合[8]