近日，合肥工业大学发布7项仪器设备采购意向，预算总额达1.69亿元，涉及晶圆缺陷检测自动对焦平台、晶圆形貌自 动测量运动平台、高精度气浮旋转轴系、5轴运动检测平台、光纤双频激光干涉仪、高精度五轴气浮运动平台、全场非 接触扫描三维振动测试系统等，预计采购时间为2025年4~6月。 合肥工业大学2025年4~6月仪器设备采购意向汇总表 | 采购 | 需求概况 | 预算 | 采购 | | --- | --- | --- | --- | | 项目 | | 万元 | 时间 | | | 采购国产设备，包括晶圆缺陷检测自动对焦平台、晶圆形 | | | | 精密测量 | 貌自动测量运动平台、高精度气浮旋转轴系、5轴运动检 | | 2025 | | 仪器原理 | 测平台、光纤双频激光干涉仪、高精度五轴气浮运动平 | 1507 | 年4月 | | 验证平台 | 台、全场非接触扫描三维振动测试系统、多自由度微纳位 | | | | | 移驱动传感测试标定系统等。 | | | | | 采购进口设备，包括超高精度坐标测量仪、可自动跟踪反 | | | | 跨尺度精 | 射镜的激光干涉仪、多束激光干涉仪、机器人性能测量及 | | 2025 ...